[發明專利]金屬電遷移測試結構及使用該結構的金屬電遷移測試方法

在審

• 申請號: 201810228231.6
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN108447797A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 王志強;韓坤
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 鄧曄

1.一種金屬電遷移測試結構，其特征在于，包括：

位于相同層的至少兩條待測目標金屬線；以及

位于所述待測目標金屬線所在層的不同層、且經由通孔使所述待測目標金屬線彼此串聯連接的至少一條連接用金屬線，

在進行金屬電遷移測試時，所述連接用金屬線的長度能夠使所述待測目標金屬線和所述連接用金屬線串聯而成的串聯電路的電阻值發生跳變。

2.如權利要求1所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述金屬電遷移測試在恒定溫度和恒定電流條件下進行。

3.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述連接用金屬線位于所述待測目標金屬線的相鄰層。

4.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述連接用金屬線位于所述待測目標金屬線的上一層和/或下一層。

5.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述連接用金屬線為兩條以上。

6.如權利要求5所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述兩條以上的所述連接用金屬線中的一部分所述連接用金屬線位于所述待測目標金屬線的上一層，另一部分所述連接用金屬線位于所述待測目標金屬線的下一層。

7.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述連接用金屬線的長度小于等于100μm。

8.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述待測目標金屬線的寬度為1nm～100μm，和/或所述待測目標金屬線的長度大于等于100μm。

9.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述待測目標金屬線的材料為銅或鋁。

10.如權利要求1或2所述的金屬電遷移測試結構，其特征在于，

所述連接用金屬線的材料為銅或鋁。

11.一種金屬電遷移測試方法，其特征在于，包括：

利用與待測目標金屬線位于不同層的連接用金屬線，經由通孔將待測目標金屬線彼此串聯連接以構成串聯電路；

設置所述連接用金屬線的長度，以使得在進行金屬電遷移測試時，所述串聯電路的電阻值發生跳變；

基于測量得到的所述串聯電路的電阻值變化情況生成金屬電遷移失效時間分布。

12.如權利要求11所述的金屬電遷移測試方法，其特征在于，包括：

記錄所述電阻值發生跳變的時間；以及

基于所述電阻值發生跳變的時間生成所述金屬電遷移失效時間分布。