[發(fā)明專(zhuān)利]一種刻蝕液耐腐蝕化學(xué)泵

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810224638.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108386332A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周丹;謝毅;謝泰宏;張冠綸;張忠文
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 通威太陽(yáng)能（安徽）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04B15/04
• 分類(lèi)號(hào): F04B15/04;F04B53/14;F04B53/00
• 代理公司: 昆明合眾智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113
• 代理人: 張璽

本發(fā)明提供一種刻蝕液耐腐蝕化學(xué)泵，包括泵體、加壓管、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、進(jìn)料管、出料管、單向閥、密封法蘭和活塞桿，泵體的一端設(shè)有一進(jìn)料管、另一端設(shè)有一出料管，加壓管固定安裝在泵體上并與泵體連通，兩個(gè)單向閥分別通過(guò)密封法蘭安裝在進(jìn)料管和出料管上，活塞桿活動(dòng)安裝在加壓管內(nèi)，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與活塞桿動(dòng)力連接。本發(fā)明通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向泵體內(nèi)輸送氣壓使得泵體能夠運(yùn)輸腐蝕性液體，由于泵體內(nèi)未設(shè)置葉輪以及泵體將其他金屬材料的部件分割開(kāi)，增加了泵體的耐腐蝕性能，進(jìn)而增加了化學(xué)泵的使用年限以及增加了使用的可靠性，通過(guò)將泵體、加壓管和活塞桿表面涂覆耐氫氟酸涂料層，有效的提高了化學(xué)泵的耐腐蝕性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種刻蝕液耐腐蝕化學(xué)泵。

背景技術(shù)

在世界不可再生能源日漸枯竭的今天，開(kāi)發(fā)利用新的能源已是迫在眉睫的重大事情。太陽(yáng)能作為一種用之不竭的清潔能源，是目前廣泛使用的一種替代能源，大力開(kāi)發(fā)和利用太陽(yáng)能，對(duì)緩解世界能源危機(jī)有著非常重要的意義。刻蝕作為太陽(yáng)電池生產(chǎn)中的第三道工序，其主要作用是去除擴(kuò)散后硅片四周的N型硅，防止漏電。刻蝕一般情況下和掉擴(kuò)散前的磷硅玻璃聯(lián)系在一起，而在進(jìn)行刻蝕是利用氫氟酸與硅元素反應(yīng)達(dá)到去除的效果。

發(fā)明專(zhuān)利公開(kāi)號(hào)為CN105422447A提供了一種耐腐蝕濕式羅茨真空泵，屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域。包括泵體、主動(dòng)軸、從動(dòng)軸以及分別設(shè)置在主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上的主動(dòng)轉(zhuǎn)子和從動(dòng)轉(zhuǎn)子，所述主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上分別設(shè)有軸套，所述泵體、主動(dòng)轉(zhuǎn)子和從動(dòng)轉(zhuǎn)子的材質(zhì)為酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物，軸套的材質(zhì)為酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物；所述主動(dòng)軸和從動(dòng)軸與所述泵體之間設(shè)有機(jī)械密封。此裝置通過(guò)使抽取的腐蝕性的氣體或液體與金屬部件隔離進(jìn)而增加耐腐蝕性，但是在對(duì)腐蝕性的氣體或液體進(jìn)行抽取的時(shí)候利用轉(zhuǎn)子壓縮空氣進(jìn)而達(dá)到抽取的效果，由于腐蝕性的氣體或液體直接與轉(zhuǎn)子接觸，增加泵體內(nèi)耐腐蝕材料的磨損，進(jìn)而增加了零件腐蝕的幾率，進(jìn)而降低了此裝置工作的穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種刻蝕液耐腐蝕化學(xué)泵，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種刻蝕液耐腐蝕化學(xué)泵，包括泵體、加壓管、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、進(jìn)料管、出料管、單向閥、密封法蘭和活塞桿，其中：

所述泵體的一端設(shè)有一進(jìn)料管、另一端設(shè)有一出料管，所述加壓管固定安裝在泵體上并與泵體連通，兩個(gè)所述單向閥分別通過(guò)密封法蘭安裝在進(jìn)料管和出料管上，所述活塞桿活動(dòng)安裝在加壓管內(nèi)，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與活塞桿動(dòng)力連接。

優(yōu)選的，所述單向閥內(nèi)活動(dòng)安裝一擋板。

優(yōu)選的，所述泵體、加壓管和活塞桿表面涂覆有耐氫氟酸涂料層。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括支撐架、齒輪、不完全齒輪、導(dǎo)向塊、齒條和電機(jī)，所述支撐架固定安裝在加壓管上，三個(gè)所述齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在支撐架上，兩個(gè)所述不完全齒輪分別安裝在位于兩側(cè)的齒輪上，兩個(gè)所述導(dǎo)向塊固定安裝在支撐架上，所述齒條活動(dòng)安裝在兩個(gè)所述導(dǎo)向塊上并與兩個(gè)所述不完全齒輪嚙合，其中齒條的一端與活塞桿固定連接，所述電機(jī)固定安裝在支撐架上，其中未安裝不完全齒輪的齒輪固套在電機(jī)的動(dòng)力輸出端上。

優(yōu)選的，所述齒條上設(shè)有導(dǎo)槽，齒條通過(guò)其上的導(dǎo)槽配合在兩個(gè)所述導(dǎo)向塊上。

優(yōu)選的，三個(gè)所述齒輪的中心位于同一直線(xiàn)上，其中位于兩側(cè)的齒輪分別與固套在電機(jī)的動(dòng)力輸出端上的齒輪嚙合形成齒輪傳動(dòng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：