[發(fā)明專利]在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be2Ti3薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810217583.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN108486530A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龍劍平;姚富友;劉春海;胡安俊;侯志前;陳青松;張思豪;梁鵬;嚴(yán)邦業(yè);劉博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 廖慧敏

1.在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法，其特征在于：包括以下操作步驟，首先硅玻璃基片進(jìn)行預(yù)處理，經(jīng)干燥處理后，將硅玻璃基片置于磁控濺射基片臺(tái)，進(jìn)行濺射處理，即實(shí)現(xiàn)將玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法，其特征在于：所述硅玻璃基片在磁控濺射基片臺(tái)濺射處理工藝為：首先預(yù)濺射5—10min，將基片的表面進(jìn)行清洗，去除表面附著物，便于Be₂Ti₃薄膜的沉積；然后開始濺射，采用在線加熱，真空保溫去應(yīng)力，濺射靶材與基片表面之間的距離為5cm，基臺(tái)轉(zhuǎn)速為25r·min，功率為40w，氣壓為0.4pa，在線加熱升溫速率的方式為階段梯度式升溫。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法，其特征在于：濺射操作中采用的靶材為純度99.99％Be₂Ti₃合金靶材。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法，其特征在于：濺射操作中采用的靶材規(guī)格為50.8*4mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線加熱實(shí)現(xiàn)玻璃Be₂Ti₃薄膜p-n型轉(zhuǎn)變的方法，其特征在于：玻璃基片進(jìn)行預(yù)處理的操作方法為，對(duì)玻璃基片進(jìn)行清洗，然后在丙酮中進(jìn)行超聲，超聲10—15min，然后將玻璃基片放入無(wú)水乙醇中進(jìn)行再次超聲，超聲時(shí)間為10—20min，然后將玻璃基片進(jìn)行干燥處理。