[發明專利]固態成像設備、成像系統和能移動的物體

有效

• 申請號: 201810216003.7
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN108632544B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 池田一;小林昌弘
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H04N5/369
• 分類號: H04N5/369;H01L27/146
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種固態成像設備，包括：

多個像素，每個像素包括

通過光電轉換來生成電荷的光電轉換單元；

第一保持部，保持從光電轉換單元傳送的電荷；

第二保持部，保持從第一保持部傳送的電荷；以及

放大器單元，輸出基于由第二保持部保持的電荷的量的信號，

其中，光電轉換單元包括

第一導電類型的第一半導體區域，設置在半導體基板的表面上，

第二導電類型的第二半導體區域，設置在第一半導體區域下面并且適于累積所生成的電荷，

第一導電類型的第三半導體區域，設置在第二半導體區域下面，以及

第二導電類型的第四半導體區域，設置在第三半導體區域下面，

其中，第一保持部包括

第二導電類型的第五半導體區域，與第二半導體區域間隔開地設置，以及

第一導電類型的第六半導體區域，在設置第三半導體區域的深度處被設置在第五半導體區域下面，

其中，在第三半導體區域和第六半導體區域之間設置如下的半導體區域，該半導體區域與第三半導體區域和第六半導體區域中的每個相比具有更低的電位，

其中，該半導體區域在平面圖中與第二半導體區域重疊，

其中，在平面圖中，該半導體區域被布置在光電轉換單元的中心部分和第一保持部之間的區域內，并且

其中，第二半導體區域、第四半導體區域和該半導體區域彼此重疊。

2.如權利要求1所述的固態成像設備，其中，該半導體區域在平面圖中被布置在光電轉換單元的中心部分和相鄰的另一像素的第一保持部之間。

3.如權利要求1所述的固態成像設備，還包括：覆蓋第一保持部的遮光膜，

其中，遮光膜在該半導體區域上方延伸。

4.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，其中，第四半導體區域被設置成在第六半導體區域下面延伸。

5.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，其中，第三半導體區域和第六半導體區域被設置在半導體基板中的相同深度處并且具有相同的雜質濃度。

6.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，其中，一個像素的光電轉換單元和另一像素的光電轉換單元彼此相鄰地布置，并且所述一個像素的第三半導體區域和所述另一像素的第三半導體區域彼此連接。

7.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，

其中，第三半導體區域的雜質濃度被設置為使得第三半導體區域的整體不被耗盡，并且

其中，第四半導體區域的雜質濃度被設置為使得當在第二半導體區域中累積電荷時第四半導體區域被耗盡。

8.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，

其中，光電轉換單元和第一保持部被設置在第一導電類型的第七半導體區域中，并且

其中，第三半導體區域和第六半導體區域被連接到第七半導體區域。

9.如權利要求8所述的固態成像設備，其中，第三半導體區域和第六半導體區域與第七半導體區域相比各自具有更高的雜質濃度。

10.如權利要求1至3中任一項所述的固態成像設備，

其中，第一保持部還包括設置在半導體基板的表面上的第一導電類型的第八半導體區域，并且

其中，第五半導體區域被設置在第八半導體區域下面。