[發明專利]一種超快速的硅基表面質量檢測系統

在審

• 申請號: 201810215816.4
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN108445017A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 李朝暉;王紹祥;馮元華;甄智燊;吳振華
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 陳偉斌

1.一種超快速的硅基表面質量檢測系統，其特征在于，包括鎖模飛秒脈沖光源（1），中紅外光波濾波器（2），色散光纖（3），摻鉺光纖放大器（4），衍射光柵（9），基于透鏡組成的4f成像系統，物鏡（11），數字相干接收機（13），高速采樣示波器（14）以及數據處理恢復所需的電腦（15），另外還包括實驗中所需用到的一些光纖，環形器（7），耦合器，光纖偏振控制器（6），準直器（8）；

還包括相位延遲線（5），透鏡（10），硅基樣品（12）；

所述的鎖模飛秒脈沖光源（1）、中紅外光波濾波器（2）、色散光纖（3）、摻鉺光纖放大器（4）依次連接，摻鉺光纖放大器（4）再通過相位延遲線（5）或光纖偏振控制器（6）連接數字相干接收機（13），數字相干接收機（13）再連接示波器（14）以及電腦（15）；

所述的光纖偏振控制器（6）還依次連接環形器（7）、準直器（8）、衍射光柵（9）、透鏡（10）、物鏡（11）、硅基樣品（12）。

2.根據權利要求1所述的一種超快速的硅基表面質量檢測系統，其特征在于：所述的色散光纖的色散值與濾波后的光譜寬度的乘積不應大于脈沖的周期時間。

3.根據權利要求1所述的一種超快速的硅基表面質量檢測系統，其特征在于：所述的衍射光柵使光在空間上能夠一維的展開，并且不同過的空間位置具有不同的頻率。