[發(fā)明專(zhuān)利]拋光液輸送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810215679.4
• 申請(qǐng)日: 2018-03-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108326748B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許振杰;趙德文;沈攀;王同慶;路新春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué);華海清科股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B57/02
• 分類(lèi)號(hào): B24B57/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種拋光液輸送裝置，拋光液輸送裝置包括：基座、轉(zhuǎn)軸、懸臂和定位件，基座上設(shè)有基座孔；轉(zhuǎn)軸設(shè)在基座孔內(nèi)，轉(zhuǎn)軸上設(shè)有定位槽；懸臂相對(duì)于轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，其中懸臂上設(shè)有定位孔；定位件至少具有鎖止和解鎖兩個(gè)位置，當(dāng)定位件位于鎖止位置時(shí)，定位件穿過(guò)定位孔和定位槽以對(duì)懸臂進(jìn)行定位鎖止，當(dāng)定位件位于解鎖位置時(shí)，定位件遠(yuǎn)離定位槽以對(duì)懸臂進(jìn)行解鎖。由此，通過(guò)基座、轉(zhuǎn)軸、懸臂和定位件配合，能夠方便地使懸臂恢復(fù)至原點(diǎn)位置，可以很容易地調(diào)整拋光液落點(diǎn)，并且，也能夠準(zhǔn)確檢測(cè)出懸臂是否在原點(diǎn)，可以防止誤操作造成事故，從而可以提升用戶(hù)滿(mǎn)意度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種拋光液輸送裝置。

背景技術(shù)

大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓需要經(jīng)過(guò)多道工序最終形成產(chǎn)品。化學(xué)機(jī)械拋光是其中的一道關(guān)鍵工序。在化學(xué)機(jī)械拋光工藝中，拋光液在拋光盤(pán)的落點(diǎn)是影響拋光質(zhì)量的重要因素。

相關(guān)技術(shù)中，當(dāng)拋光液在拋光盤(pán)的落點(diǎn)確定，并且中途對(duì)懸臂位置進(jìn)行調(diào)整后，例如修理懸臂時(shí)將懸臂轉(zhuǎn)動(dòng)，后需要再次將懸臂旋轉(zhuǎn)到初始位置時(shí)，即原點(diǎn)位置，由于現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu)不具有定位結(jié)構(gòu)，因此目前使用的拋光液輸送裝置存在以下問(wèn)題：1、調(diào)整拋光液落點(diǎn)以及懸臂原點(diǎn)位置操作復(fù)雜；2、懸臂原點(diǎn)位置無(wú)記錄，即使原點(diǎn)位置改變不能輕易觀察，往往在拋光質(zhì)量出現(xiàn)問(wèn)題后再去查找調(diào)整原點(diǎn)位置；3、懸臂是否在原點(diǎn)無(wú)檢測(cè)，機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)，如果臨時(shí)移動(dòng)拋光液輸送裝置的懸臂而未恢復(fù)到原點(diǎn)，系統(tǒng)會(huì)出現(xiàn)事故。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明提出一種拋光液輸送裝置，該拋光液輸送裝置可以很容易地調(diào)整到拋光液落點(diǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的拋光液輸送裝置包括：基座、轉(zhuǎn)軸、懸臂和定位件，所述基座上設(shè)有基座孔；所述轉(zhuǎn)軸設(shè)在所述基座孔內(nèi)，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有定位槽；所述懸臂相對(duì)于所述轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸上，其中所述懸臂上設(shè)有定位孔；所述定位件至少具有鎖止和解鎖兩個(gè)位置，當(dāng)所述定位件位于所述鎖止位置時(shí)，所述定位件穿過(guò)所述定位孔和所述定位槽以對(duì)所述懸臂進(jìn)行定位鎖止，當(dāng)所述定位件位于所述解鎖位置時(shí)，所述定位件遠(yuǎn)離所述定位槽以對(duì)所述懸臂進(jìn)行解鎖。

根據(jù)本發(fā)明的拋光液輸送裝置，通過(guò)基座、轉(zhuǎn)軸、懸臂和定位件配合，能夠方便地使懸臂恢復(fù)至原點(diǎn)位置，可以很容易地調(diào)整拋光液落點(diǎn)，并且，也能夠準(zhǔn)確檢測(cè)出懸臂是否在原點(diǎn)，可以防止誤操作造成事故，從而可以提升用戶(hù)滿(mǎn)意度。

進(jìn)一步地，所述的拋光液輸送裝置還包括鎖定件，所述轉(zhuǎn)軸相對(duì)于所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)，所述基座的外壁上設(shè)有連通所述基座孔的鎖定孔，所述鎖定件可移動(dòng)地設(shè)在所述鎖定孔內(nèi)以對(duì)所述轉(zhuǎn)軸進(jìn)行鎖定和釋放當(dāng)所述鎖定件對(duì)所述轉(zhuǎn)軸進(jìn)行鎖定時(shí)，所述鎖定件止抵在所述轉(zhuǎn)軸的外壁上。

可選地，所述的拋光液輸送裝置還包括用于檢測(cè)所述定位件是否位于所述鎖止位置的檢測(cè)件。

進(jìn)一步地，所述定位槽設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的上端面上，所述定位槽的下端設(shè)有安裝孔，所述檢測(cè)件設(shè)在所述安裝孔內(nèi)。

具體地，所述的拋光液輸送裝置還包括套筒，所述套筒可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的外部，所述套筒的上端與所述懸臂相連且與所述懸臂相對(duì)靜止。

可選地，所述套筒的下端設(shè)有擋板，所述擋板上設(shè)有第一標(biāo)記，所述擋板套設(shè)在所述基座的上部外側(cè)，其中所述基座的上部設(shè)有可與所述第一標(biāo)記配合使用的第二標(biāo)記。

具體地，所述的拋光液輸送裝置還包括：復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧被構(gòu)成可驅(qū)動(dòng)所述定位件從所述解鎖位置移動(dòng)到所述鎖止位置。

可選地，所述定位件包括：把手部和定位部，所述定位部設(shè)在所述把手部的一端且與所述把手部構(gòu)成L形，所述定位部可上下移動(dòng)地設(shè)在所述定位孔內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述懸臂包括：本體、噴嘴座和罩殼，所述本體包括彼此相連的固定部和懸掛部；所述噴嘴座設(shè)在所述懸掛部的底部；所述罩殼設(shè)在所述本體的上方，其中所述把手部從所述罩殼伸出。