[發明專利]掩膜板、信號線及數字標識的制備方法、基板及顯示裝置

有效

• 申請號: 201810215487.3
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN108363271B
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 王文超;胡波;王寶強;樸相鎮;徐旭;徐姍姍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;福州京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F1/76
• 分類號: G03F1/76;G03F7/20
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種掩膜板，包括：依次排列的第一單元、第二單元和第三單元；所述第一單元包括：X₁個走線圖案；所述第二單元包括：X₂個走線圖案；所述第三單元包括：X₃個走線圖案；X₁、X₃≥1，X₂≥3；所述X₁個走線圖案、所述X₂個走線圖案和所述X₃個走線圖案均平行排列；其特征在于，

所述第一單元還包括：位于所述X₁個走線圖案的一端且分別標記每個走線圖案的X₁個數字標識圖案；沿所述第一單元指向所述第三單元的方向，所述X₁個數字標識圖案的數字為按照由小到大的順序排列的X₁個連續整數；

所述第二單元還包括：位于所述X₂個走線圖案的一端且分別標記每個走線圖案的X₂個標識組，每個標識組均包含N個數字標識圖案，所述X₂個標識組中所有數字標識圖案的數字為N*X₂個連續整數，N≥2；其中，沿所述第一單元指向所述第三單元的方向，所述X₂個標識組中位于相同排列位置處的數字標識圖案的數字為由小到大排列的X₂個連續整數，所述第二單元中的第1個標識組中的N個數字標識圖案的最小數字比所述第一單元中的最后1個數字標識圖案的數字大1；

所述第三單元還包括：位于所述X₃個走線圖案的一端且分別標記每個走線圖案的X₃個數字標識圖案；沿所述第一單元指向所述第三單元的方向，所述X₃個數字標識圖案的數字為按照由小到大的順序排列的X₃個連續整數，且所述第三單元中的第1個數字標識圖案的數字比所述第二單元中的最后1個標識組中的N個數字標識圖案的最大數字大1；

所述第一單元還包括：位于所述X₁個走線圖案的另一端且分別標記每個走線圖案的X₁個數字標識圖案，同一個走線圖案兩端的所述數字標識圖案的數字相同；

所述第二單元還包括：位于所述X₂個走線圖案的一端且分別標記每個走線圖案的X₂個標識組，每個標識組均包含N個數字標識圖案，同一個走線圖案兩端的所述標識組包括的N個數字標識圖案的排列方式和數字均相同；

所述第三單元還包括：位于所述X₃個走線圖案的另一端且分別標記每個走線圖案的X₃個數字標識圖案，同一個走線圖案兩端的所述數字標識圖案的數字相同。

2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，沿所述第一單元指向所述第三單元的方向，每個標識組中的所述N個數字標識圖案的數字均由大到小依次排列；其中，

所述第一單元還包括：位于最后1個數字標識圖案靠近所述第二單元一側的(N-1)個保護圖案，所述(N-1)個保護圖案與所述第二單元中的最后1個標識組中的除第1個數字標識圖案之外的其余(N-1)個數字標識圖案一一對應；所述保護圖案用于在所述第二單元重復拼接曝光時，保護所述第二單元前一次曝光后與最后1個標識組中其余(N-1)個數字標識圖案對應區域的光刻膠；

和/或，

所述第三單元還包括：位于第1個數字標識圖案靠近所述第二單元一側的(N-1)個保護圖案，所述(N-1)個保護圖案與所述第二單元中的第1個標識組中的除最后1個數字標識圖案之外的其余(N-1)個數字標識圖案一一對應；所述保護圖案用于在所述第二單元重復拼接曝光時，保護所述第二單元后一次曝光時與第1個標識組中其余(N-1)個數字標識圖案對應區域的光刻膠。

3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，

當采用所述掩膜板進行曝光的光刻膠為正性光刻膠時，所述數字標識圖案為不透光的數字，所述保護圖案為遮光塊，且所述遮光塊的面積大于對應的所述不透光的數字的面積；

或者，當采用所述掩膜板進行曝光的光刻膠為負性光刻膠時，所述數字標識圖案為透光的數字，所述保護圖案為透光塊，所述透光塊的面積大于對應的所述透光的數字的面積。