[發明專利]物理量傳感器、電子設備、便攜式電子設備及移動體

有效

• 申請號: 201810213123.1
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN108663539B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: 田中悟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01D5/24
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

一種物理量傳感器、電子設備、便攜式電子設備及移動體。物理量傳感器具備：基板；可動體，能夠根據物理量繞支承軸位移，設有開口部；以及支承部，設于所述基板上，并位于所述開口部，所述支承部具有：第一固定部和第二固定部，固定于所述基板，俯視下隔著所述支承軸設置；第一梁部和第二梁部，將所述第一固定部和所述第二固定部連接，并相互分開設置；第三梁部，在所述支承軸的方向上延伸，將所述第一梁部和所述可動體連接；以及第四梁部，在所述支承軸的方向上延伸，將所述第二梁部和所述可動體連接。

技術領域

本發明涉及物理量傳感器、電子設備、便攜式電子設備及移動體。

背景技術

近年來，例如使用硅MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微電子機械系統)技術，開發出檢測加速度等物理量的物理量傳感器。

例如在專利文獻1中記載了如下靜電電容型加速度傳感器，其具備：固定電極，固定于基板上；可動電極，以與固定電極的上表面相對的方式配置；以及彈性支承部，對可動電極以使其能在與基板的上表面正交的方向上位移的方式進行彈性支承，彈性支承部具有固定于基板的支承部、以及將支承部和可動電極連接的梁部。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012－181030號公報

但是，在專利文獻1所記載的加速度傳感器中，當對與基板的上表面正交的方向(Z軸方向)施加了較強沖擊時，梁部有可能會破損。

發明內容

本發明的若干方式的目的之一在于提供能減小梁部破損可能性的物理量傳感器。

另外，本發明的若干方式的目的之一在于提供具備上述的物理量傳感器的電子設備。

另外，本發明的若干方式的目的之一在于提供具備上述的物理量傳感器的移動體。

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠通過以下的方式或應用例來實現。

[應用例1]

本應用例的物理量傳感器具備：基板；可動體，能夠根據物理量繞支承軸位移，設有開口部；以及支承部，設于所述基板上，并位于所述開口部，所述支承部具有：第一固定部和第二固定部，固定于所述基板，俯視下隔著所述支承軸設置；第一梁部和第二梁部，將所述第一固定部和所述第二固定部連接，并相互分開設置；第三梁部，在所述支承軸的方向上延伸，將所述第一梁部和所述可動體連接；以及第四梁部，在所述支承軸的方向上延伸，將所述第二梁部和所述可動體連接。

在這種物理量傳感器中，在沿Z軸方向施加了較強沖擊時，第一梁部和第二梁部能進行扭轉變形。由此，在物理量傳感器中，在沿Z軸方向施加了較強沖擊時，能抑制應力集中于第三梁部的第一梁部一側的端部和第四梁部的第二梁部一側的端部。

因而，這種物理量傳感器能減小第三梁部和第四梁部破損的可能性。

[應用例2]

在本應用例的物理量傳感器中，可以是，所述第一固定部和所述第三梁部之間在與所述支承軸的方向交叉的方向上的最短距離小于所述第一固定部和所述第一梁部的與所述第三梁部連接的連接部之間在交叉所述方向上的最短距離，所述第二固定部和所述第三梁部之間在交叉所述方向上的最短距離小于所述第二固定部和所述連接部之間的最短距離。

在這種物理量傳感器中，在通過使用了感應耦合方式(ICP)的蝕刻來形成可動體和支承部時，能減緩用于形成第三梁部的部分的蝕刻速度。

由此，能以高精度形成第三梁部。

[應用例3]

在本應用例的物理量傳感器中，可以是，所述第一梁部和所述第二梁部能夠繞與所述支承軸交叉的軸位移。