[發(fā)明專(zhuān)利]一種基板母板及其檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810211701.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108362712B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李圭鉉;任茂;問(wèn)武鵬;劉超強(qiáng);韓金桂
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/956
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/956
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 賈瑩

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種基板母板及其檢測(cè)方法，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，用于解決在圖案缺陷檢測(cè)過(guò)程中，缺陷檢出精度較低的問(wèn)題。該檢測(cè)方法包括：在基板母板上劃分多個(gè)檢測(cè)區(qū)；在每個(gè)檢測(cè)區(qū)內(nèi)，對(duì)待測(cè)面板中的圖案進(jìn)行缺陷檢測(cè)，包括：對(duì)一檢測(cè)區(qū)對(duì)應(yīng)位置處的基板母板進(jìn)行拍照，獲取每個(gè)待測(cè)面板在該檢測(cè)區(qū)內(nèi)的檢測(cè)圖像以及檢測(cè)區(qū)內(nèi)，設(shè)置于每個(gè)待測(cè)面板周邊的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置；根據(jù)對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置獲取該檢測(cè)區(qū)內(nèi)，每個(gè)檢測(cè)圖像的各個(gè)像素的位置；在同一檢測(cè)區(qū)中，對(duì)不同待測(cè)面板的檢測(cè)圖像進(jìn)行比對(duì)，獲取缺陷的圖案。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板母板及其檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的飛速發(fā)展，觸控顯示屏(Touch Screen Panel)已經(jīng)逐漸遍及人們的生活中。目前可以采用外嵌式(On-Cell)制作方法將觸控屏集成于顯示屏的顯示側(cè)。

目前，為了提高產(chǎn)品質(zhì)量可以采用微觀檢查機(jī)(Automatic Optic Inspection)對(duì)觸控屏中觸控電極和觸控引線的圖案進(jìn)行缺陷檢測(cè)。其中，觸控電極的圖案根據(jù)設(shè)計(jì)的要求，會(huì)呈現(xiàn)非周期性排布。在此情況下，為了提高缺陷的檢測(cè)精度，通常需要對(duì)位于同一個(gè)母板上的相鄰兩個(gè)面板上的觸控圖案進(jìn)行比對(duì)。這樣一來(lái)對(duì)面板的定位的精度要求較高。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，如圖1所示，是通過(guò)對(duì)位于母板四個(gè)角位置的對(duì)位標(biāo)(Mark)進(jìn)行定位，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)面板位置的確定。在此情況下，母板實(shí)際的擺放位置與理論擺放位置具有一定的偏差，因此面板的定位精度較低，不利于上述缺陷的檢出。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實(shí)施例提供一種基板母板及其檢測(cè)方法，用于解決在圖案缺陷檢測(cè)過(guò)程中，通過(guò)位于母板四個(gè)角的對(duì)位標(biāo)進(jìn)行對(duì)位導(dǎo)致缺陷檢出精度較低的問(wèn)題。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

本申請(qǐng)實(shí)施例的一方面，提供一種基板母板的檢測(cè)方法，所述檢測(cè)方法包括：在所述基板母板上劃分多個(gè)檢測(cè)區(qū)，一所述檢測(cè)區(qū)與所述基板母板上位于同一列的所述待測(cè)面板中的每一個(gè)所述待測(cè)面板的至少一部分相對(duì)應(yīng)；在每個(gè)所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)，對(duì)所述待測(cè)面板中的圖案進(jìn)行缺陷檢測(cè)；所述在每個(gè)檢測(cè)區(qū)內(nèi)，對(duì)待測(cè)面板中的圖案進(jìn)行缺陷檢測(cè)，包括：對(duì)一所述檢測(cè)區(qū)對(duì)應(yīng)位置處的基板母板進(jìn)行拍照，獲取每個(gè)所述待測(cè)面板在該檢測(cè)區(qū)內(nèi)的檢測(cè)圖像以及所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)，設(shè)置于每個(gè)所述待測(cè)面板周邊的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置；所述對(duì)位標(biāo)被配置為對(duì)所述待測(cè)面板進(jìn)行定位；根據(jù)所述對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置獲取該檢測(cè)區(qū)內(nèi)，每個(gè)所述檢測(cè)圖像的各個(gè)像素的位置；在同一所述檢測(cè)區(qū)中，對(duì)不同待測(cè)面板的檢測(cè)圖像進(jìn)行比對(duì)，獲取缺陷的圖案。

可選的，獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置之前，所述檢測(cè)方法還包括：獲取每個(gè)所述待測(cè)面板在所述基板母板上的預(yù)設(shè)排布位置以及每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)位置；在獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置之后，在獲取該檢測(cè)區(qū)內(nèi)，每個(gè)所述待測(cè)面板在該檢測(cè)區(qū)內(nèi)的檢測(cè)圖像中各個(gè)像素的位置之前，所述方法還包括：根據(jù)所述待測(cè)面板的預(yù)設(shè)排布位置以及所述對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)位置和實(shí)際位置，對(duì)所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板進(jìn)行坐標(biāo)補(bǔ)正。

進(jìn)一步可選的，獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置之前，所述方法還包括：獲取所述對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)形狀；獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置包括：根據(jù)所述待測(cè)面板的預(yù)設(shè)排布位置、所述對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)位置以及預(yù)設(shè)形狀，確定每個(gè)所述待測(cè)面板的檢測(cè)圖像中所述對(duì)位標(biāo)的圖案。

或者，進(jìn)一步可選的，獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的實(shí)際位置之前，所述方法還包括：獲取所述對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)尺寸；獲取所述檢測(cè)區(qū)內(nèi)每個(gè)所述待測(cè)面板的對(duì)位標(biāo)的實(shí)際位置包括：根據(jù)所述待測(cè)面板的預(yù)設(shè)排布位置、所述對(duì)位標(biāo)的預(yù)設(shè)位置以及預(yù)設(shè)尺寸，確定每個(gè)所述待測(cè)面板的檢測(cè)圖像中所述對(duì)位標(biāo)的圖案。