[發(fā)明專利]一種電池電極用金屬化類石墨膜層的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810209709.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108400177B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 閆焉服;高志廷;王廣欣;楊文玲;傅山泓;吳丹鳳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 河南科技大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L31/0224 | 分類號(hào)： | H01L31/0224;H01L21/02 |
| 代理公司： | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 魏新培 |
| 地址： | 471000 河*** | 國(guó)省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電池 電極 金屬化 石墨 制備 方法 | ||
1.一種電池電極用金屬化類石墨膜層的制備方法，其特征在于：金屬化類石墨膜層的各組成成分的百分比為：Ti 3.5~8.0%，N 2.0~3.0%，雜質(zhì)含量≤0.05%，余量為C；制備方法包括以下步驟：
步驟一、使用超聲波清洗Si基體5~20min；
步驟二、通入氬氣和氮?dú)猓褂肨i、石墨靶材共濺射方法鍍膜，其中，以FTO導(dǎo)電玻璃為基材，以石墨和Ti材作為共濺射的靶材原料，制得金屬化類石墨膜層；
步驟三、將制得的金屬化類石墨膜層在黑體爐中加熱，黑體爐中溫度為800~900℃，保溫2~3h。
2.如權(quán)利要求1所述的一種電池電極用金屬化類石墨膜層的制備方法，其特征在于：步驟二中，Ti、石墨靶材共濺射鍍膜方法為：利用磁控共濺射鍍膜設(shè)備在FTO玻璃上沉積碳膜；其中，將基材加熱到800~1000 ℃，通入氬氣和氮?dú)猓⒄{(diào)節(jié)二者的流量使磁控共濺射鍍膜設(shè)備的腔體壓力為0.2~0.5 Pa。
3.如權(quán)利要求2所述的一種電池電極用金屬化類石墨膜層的制備方法，其特征在于：氬氣與氮?dú)獾牧髁勘葹?：1；氬氣與氮?dú)獾目偭髁繛?0~40sccm；石墨靶材的電流密度為10~15W/cm2，Ti靶材的電流密度為0.5~1 W/cm2。
4.如權(quán)利要求3所述的一種電池電極用金屬化類石墨膜層的制備方法，其特征在于：所述磁控共濺射鍍膜設(shè)備的真空度<1×10-4 Pa。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
