[發明專利]紅外光學材料微觀缺陷檢測裝置及遠紅外顯微鏡頭在審

申請號：	201810209430.2	申請日：	2018-03-14
公開（公告）號：	CN108375584A	公開（公告）日：	2018-08-07
發明（設計）人：	周剛;潘養輝;朱光春;陳惠廣	申請（專利權）人：	寧波舜宇紅外技術有限公司
主分類號：	G01N21/88	分類號：	G01N21/88
代理公司：	北京謹誠君睿知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11538	代理人：	陸鑫;延慧
地址：	315400 浙江***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	透鏡顯微鏡頭遠紅外紅外光學材料檢測裝置微觀缺陷球面硫系玻璃非球面物側面像側面觀察依次排列遠紅外線光軸環帶物側像側衍射鍺系玻璃檢測清晰
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【說明書】：

本發明涉及一種紅外光學材料微觀缺陷檢測裝置、用于該裝置的遠紅外顯微鏡頭及該檢測裝置的檢測方法，遠紅外顯微鏡頭包括：沿著光軸從物側至像側依次排列的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡；所述第一透鏡、所述第三透鏡和所述第四透鏡為鍺系玻璃，所述第二透鏡為硫系玻璃；所述第一透鏡和所述第三透鏡的物側面為球面、像側面為非球面；所述第三透鏡的非球面具有衍射環帶；所述第二透鏡和所述第四透鏡的物側面和像側面均為球面。根據本發明的遠紅外顯微鏡頭可以對肉眼無法觀察的透遠紅外線的紅外光學材料(硅、鍺或硫系玻璃等)內部的微觀缺陷進行觀察，可以清晰地觀察到氣泡、雜質和/或裂紋等不同類型的缺陷。

技術領域

本發明涉及一種紅外光學材料微觀缺陷檢測裝置、用于該裝置的遠紅外顯微鏡頭及該檢測裝置的檢測方法。利用紅外光源發出的紅外線透過被測紅外光學材料，透射的紅外線通過紅外顯微鏡頭放大成像，紅外探測器將接收到的紅外線成像信號轉換成電子信號后通過計算機轉換成圖形，從而實現對材料內部微觀缺陷進行觀察。

背景技術

光學顯微鏡是利用一個或一組透鏡，組成一套光學放大系統，將微觀的物體或圖像放大成人類肉眼可以分辨的圖像，以供人們觀察微觀世界。光學顯微鏡一般采用可見光作為光源，工作方式大多為反射式，用于人眼觀測物體的表面細微情況，也可以利用透射式工作方式來觀察透明物體內部的細節情況。光學顯微鏡除了可以用人眼通過光學目鏡直接觀察外，也可以配備電子目鏡，通過光電轉換和信號處理，通過軟件將光學顯微鏡看到的圖片顯示在電腦屏幕上，以供人眼觀察，減少眼睛疲勞。

但是對于透紅外線光學材料，如單晶鍺，單晶硅等，由于對可見光不透過，普通光學顯微鏡無法對此類材料的內部微缺陷進行觀察，導致無法判斷出材料的品質是否符合使用要求。

發明內容

本發明的目的在于解決上述問題，提供一種可以精確檢測紅外光學材料微觀缺陷的紅外光學材料微觀缺陷檢測裝置、用于該裝置的遠紅外顯微鏡頭，以及通過該檢測裝置檢測紅外光學材料微觀缺陷的檢測方法。

為實現上述發明目的，本發明提供一種包含遠紅外顯微鏡頭的紅外光學材料微觀缺陷檢測裝置，包括：

物料夾持調整單元，用于夾持紅外光學材料并且調整紅外光學材料的位置；

紅外成像單元，位于所述物料夾持調整單元的一側，用于對紅外光學材料聚焦成像；

紅外光單元，位于所述物料夾持調整單元的另一側，用于提供紅外線；

支承單元，用于支承所述物料夾持調整單元、紅外成像單元和紅外光單元；

所述紅外成像單元包括所述遠紅外顯微鏡頭。

根據本發明的一個方面，還包括位于所述物料夾持調整單元和所述紅外光單元之間的可調光闌，所述可調光闌的光闌調節口徑范圍為5-80mm。

根據本發明的一個方面，所述物料夾持調整單元包括用于夾持紅外光學材料的夾持臺、支承所述夾持臺的調整平臺以及安裝在所述調整平臺上用于驅動所述調整平臺移動的調節旋鈕。

根據本發明的一個方面，所述紅外成像單元還包括用于調節所述遠紅外顯微鏡頭的焦距的調焦手輪、與所述遠紅外顯微鏡頭電連接的遠紅外探測器。