[發明專利]射頻收發機中的多晶硅納米薄膜熱電偶微型能量收集器在審

申請號：	201810208090.1	申請日：	2018-03-14
公開（公告）號：	CN108447876A	公開（公告）日：	2018-08-24
發明（設計）人：	廖小平;嚴嘉彬	申請（專利權）人：	東南大學
主分類號：	H01L27/142	分類號：	H01L27/142
代理公司：	南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204	代理人：	柏尚春
地址：	211189 江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	熱電堆多晶硅納米薄膜熱電偶氮化硅薄膜能量收集器射頻收發機納米薄膜硅襯底深反應離子刻蝕熱電轉換效率熱電偶串聯散熱金屬板半導體臂薄膜結構測試電極傳熱結構互聯金屬空腔結構支撐結構傳統體金屬板熱導率犧牲層襯底空腔釋放制作
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【權利要求書】：

1.一種射頻收發機中的多晶硅納米薄膜熱電偶微型能量收集器，其特征是：該微型能量收集器(1)主要由襯底(7)、水平放置的熱電堆和散熱金屬板(13)構成；其中，襯底(7)的中心區域被去除，周圍部分作為上方第一氮化硅薄膜(8)的支撐結構和傳熱結構；熱電堆的一端位于襯底(7)上，另一端位于薄膜結構的中央，有效實現了熱電堆冷熱結點之間的熱絕緣；熱電堆是由許多熱電偶串聯而成，制作了多個測試電極(14)；在熱電堆的上方，通過犧牲層釋放制作出的空腔結構，空腔的上方為散熱金屬板(13)，與熱電堆之間隔有第二氮化硅薄膜(12)以實現絕緣；微型能量收集器(1)的熱電堆是由N型多晶硅納米薄膜(9)和P型多晶硅納米薄膜(10)串聯而成，多晶硅納米薄膜通過外延技術生長而成，厚度為1-100nm。

2.根據權利要求1所述的一種射頻收發機中的多晶硅納米薄膜熱電偶微型能量收集器，其特征是：微型能量收集器(1)的襯底(7)材料為硅，兩個半導體臂之間采用Au作為互聯金屬(11)。

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