[發(fā)明專利]診斷系統(tǒng)、診斷方法和存儲(chǔ)介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810204147.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-13
• 公開（公告）號(hào): CN108572023B
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 赤土和也;長井健太郎;松浦和宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社堀場(chǎng)STEC
• 主分類號(hào): G01F25/00
• 分類號(hào): G01F25/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

1.一種診斷系統(tǒng)，其特征在于，包括：

流量傳感器，測(cè)定流體的流量，包括：阻力體；上游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的上游側(cè)；以及下游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的下游側(cè)；

流量測(cè)定部，根據(jù)由所述上游側(cè)壓力傳感器和所述下游側(cè)壓力傳感器檢測(cè)出的各壓力值，計(jì)算出流體的流量值；

第一閥，設(shè)置在所述上游側(cè)壓力傳感器的上游側(cè)；

從所述第一閥至所述阻力體的導(dǎo)入口為止的流路容積，由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定壓力；

輸出關(guān)聯(lián)值測(cè)定部，基于質(zhì)量流量積分值、流路容積內(nèi)的各壓力和氣體的狀態(tài)方程式，測(cè)定表示所述流路容積的大小的測(cè)定體積值，所述質(zhì)量流量積分值是對(duì)在所述流路容積內(nèi)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的上游側(cè)壓力產(chǎn)生變化的指定期間由所述流量測(cè)定部輸出的流量進(jìn)行時(shí)間積分而得到的，所述流路容積內(nèi)的各壓力是在所述質(zhì)量流量積分值的時(shí)間積分的開始時(shí)點(diǎn)和結(jié)束時(shí)點(diǎn)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的流路容積內(nèi)的各壓力，所述氣體的狀態(tài)方程式以所述流路容積為對(duì)象；

基準(zhǔn)值存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)閾值，所述閾值是為了判斷所述測(cè)定體積值是否正常，而基于針對(duì)所述流路容積在指定的測(cè)定周邊條件下測(cè)定的基準(zhǔn)體積值而確定的；

修正部，根據(jù)在處于所述第一閥與所述阻力體之間的所述流路容積的下游側(cè)由所述下游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的下游側(cè)壓力與同所述基準(zhǔn)體積值相關(guān)聯(lián)的下游側(cè)壓力之間的偏差，對(duì)所述測(cè)定體積值和所述閾值中的至少一方進(jìn)行修正；以及

診斷部，根據(jù)由所述修正部修正了至少一方的所述測(cè)定體積值和所述閾值，來診斷所述流量傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的診斷系統(tǒng)，其特征在于，還包括基準(zhǔn)輸出關(guān)聯(lián)值存儲(chǔ)部，所述基準(zhǔn)輸出關(guān)聯(lián)值存儲(chǔ)部至少將在預(yù)先作為基準(zhǔn)的測(cè)定周邊條件下測(cè)定的所述基準(zhǔn)體積值與包含于所述測(cè)定周邊條件且由所述下游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的下游側(cè)壓力相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)定體積值是根據(jù)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的所述指定期間的開始時(shí)點(diǎn)和結(jié)束時(shí)點(diǎn)的壓力變化量、所述指定期間中的流體的溫度和溫度變化量中的任意一個(gè)、以及所述質(zhì)量流量積分值而計(jì)算出的流體的體積值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的診斷系統(tǒng)，其特征在于，

還包括能截?cái)嗨隽黧w的流動(dòng)的第二閥，所述第二閥設(shè)置在所述阻力體的下游側(cè)，

所述第二閥通過截?cái)嗨隽黧w的流動(dòng)而使流路容積的流體壓力隨時(shí)間變化。

5.一種流量傳感器的診斷方法，對(duì)流量控制裝置中的流量傳感器的功能進(jìn)行診斷，其特征在于，

所述流量控制裝置包括：

流量傳感器，測(cè)定流體的流量，包括：阻力體；上游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的上游側(cè)；以及下游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的下游側(cè)；

流量測(cè)定部，根據(jù)由所述上游側(cè)壓力傳感器和所述下游側(cè)壓力傳感器檢測(cè)出的各壓力值，計(jì)算出流體的流量值；

第一閥，設(shè)置在所述上游側(cè)壓力傳感器的上游側(cè)；以及

從所述第一閥至所述阻力體的導(dǎo)入口為止的流路容積，由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定壓力，

基于質(zhì)量流量積分值、流路容積內(nèi)的各壓力和氣體的狀態(tài)方程式，測(cè)定表示所述流路容積的大小的測(cè)定體積值，所述質(zhì)量流量積分值是對(duì)在所述流路容積內(nèi)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的上游側(cè)壓力產(chǎn)生變化的指定期間由所述流量測(cè)定部輸出的流量進(jìn)行時(shí)間積分而得到的，所述流路容積內(nèi)的各壓力是在所述質(zhì)量流量積分值的時(shí)間積分的開始時(shí)點(diǎn)和結(jié)束時(shí)點(diǎn)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的流路容積內(nèi)的各壓力，所述氣體的狀態(tài)方程式以所述流路容積為對(duì)象，

為了判斷所述測(cè)定體積值是否正常而設(shè)定閾值作為基準(zhǔn)值，所述閾值是基于針對(duì)所述流路容積在指定的測(cè)定周邊條件下測(cè)定的基準(zhǔn)體積值而確定的，

根據(jù)作為所述流路容積的下游側(cè)的容積的壓力且由所述下游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的下游側(cè)壓力與同所述基準(zhǔn)體積值相關(guān)聯(lián)的下游側(cè)壓力之間的偏差，對(duì)所述測(cè)定體積值和所述閾值中的至少一方進(jìn)行修正，

根據(jù)由修正部修正了至少一方的所述測(cè)定體積值和所述閾值，來診斷所述流量傳感器。

6.一種存儲(chǔ)介質(zhì)，存儲(chǔ)有對(duì)流量控制裝置中的流量傳感器的功能進(jìn)行診斷的診斷系統(tǒng)所使用的程序，其特征在于，

所述流量控制裝置包括：

流量傳感器，測(cè)定流體的流量，包括：阻力體；上游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的上游側(cè)；以及下游側(cè)壓力傳感器，設(shè)置在所述阻力體的下游側(cè)；

流量測(cè)定部，根據(jù)由所述上游側(cè)壓力傳感器和所述下游側(cè)壓力傳感器檢測(cè)出的各壓力值，計(jì)算出流體的流量值；

第一閥，設(shè)置在所述上游側(cè)壓力傳感器的上游側(cè)；以及

從所述第一閥至所述阻力體的導(dǎo)入口為止的流路容積，由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定壓力，

所述程序使計(jì)算機(jī)發(fā)揮如下功能：

基于質(zhì)量流量積分值、流路容積內(nèi)的各壓力和氣體的狀態(tài)方程式，測(cè)定表示所述流路容積的大小的測(cè)定體積值，所述質(zhì)量流量積分值是對(duì)在所述流路容積內(nèi)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的上游側(cè)壓力產(chǎn)生變化的指定期間由所述流量測(cè)定部輸出的流量進(jìn)行時(shí)間積分而得到的，所述流路容積內(nèi)的各壓力是在所述質(zhì)量流量積分值的時(shí)間積分的開始時(shí)點(diǎn)和結(jié)束時(shí)點(diǎn)由所述上游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的流路容積內(nèi)的各壓力，所述氣體的狀態(tài)方程式以所述流路容積為對(duì)象，

為了判斷所述測(cè)定體積值是否正常而設(shè)定閾值作為基準(zhǔn)值，所述閾值是基于針對(duì)所述流路容積在指定的測(cè)定周邊條件下測(cè)定的基準(zhǔn)體積值而確定的，

根據(jù)作為所述流路容積的下游側(cè)的容積的壓力且由所述下游側(cè)壓力傳感器測(cè)定的下游側(cè)壓力與同所述基準(zhǔn)體積值相關(guān)聯(lián)的下游側(cè)壓力之間的偏差，對(duì)所述測(cè)定體積值和所述閾值中的至少一方進(jìn)行修正，

根據(jù)由修正部修正了至少一方的所述測(cè)定體積值和所述閾值，來診斷所述流量傳感器。