[發明專利]閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置

有效

• 申請號: 201810201780.4
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN108583943B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 馬偉;廖鶴;徐毅;唐忠興;鄧逸凡;廖波
• 申請（專利權）人: 上海衛星工程研究所
• 主分類號: B64G7/00
• 分類號: B64G7/00;F16C32/06
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 莊文莉

1.閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，包括旋轉平臺(1)、儀表平臺(3)、平動平臺(6)、支撐立柱(4)、氣浮球軸承(12)、氣浮球碗(11)、平面止推氣浮軸承(7)，其特征在于：儀表平臺(3)通過支撐筒(2)安裝于旋轉平臺(1)下底面，氣浮球軸承(12)安裝于旋轉平臺(1)下底面，所述支撐立柱(4)固定安裝在平動平臺(6)的上方，上端安裝有氣浮球碗(11)，氣浮球軸承(12)和氣浮球碗(11)構成氣浮球軸承組件，用于實現旋轉平臺(1)和儀表平臺(3)的R_X、R_Y和R_Z向旋轉；支撐立柱(4)中心設置有通氣孔以及側向通氣管路(5)，所述平動平臺(6)通過均勻分布的平面止推氣浮軸承(7)實現氣浮物理仿真平臺的X和Y向平面非接觸運動，平動平臺(6)的平面止推氣浮軸承安裝側的中心位置設置有由導氣塊(9a)和導氣孔(9b)組成的導氣單元(9)，導氣孔(9b)與支撐立柱(4)中心的通氣孔連通，借助支撐立柱(4)中心的通氣孔沿支撐立柱(4)+Z方向對氣浮球軸承組件供氣，側向通氣管路(5)與平面止推氣浮軸承(7)連接，用于為平面止推氣浮軸承(7)供氣；還包括基礎平臺(10)，所述基礎平臺(10)下方與導氣單元(9)的-Z方向對應設置處固定安裝有一供氣單元(8)，供氣單元(8)由供氣塊(8a)、供氣孔(8b)和大面積淺腔(8c)組成，供氣孔(8b)設置在導氣塊(8a)的中心處，且供氣孔(8b)周圍開設有大面積淺腔(8c)，在氣浮物理仿真平臺在運動時，導氣孔(9b)始終位于大面積淺腔(8c)內，導氣塊(8a)上設置有由封氣環(13a)、閉式氣膜密封供氣通道(13b)和封氣塞(13c)組成的閉式氣浮單元(13)，閉式氣浮單元(13)將導氣塊(9a)閉式包圍，閉式氣浮單元(13)與導氣塊(9a)對應面精加工處理，并保持微米量級的距離，在對氣浮物理仿真平臺供氣過程中，通過閉式氣浮單元(13)與導氣塊(9a)之間的精加工表面對供氣孔(8b)的供氣進行非接觸氣膜密封。

2.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：所述供氣單元(8)與導氣單元(9)之間設置足夠的XY平面運動空間，在氣浮物理仿真平臺在平動工作狀態下，供氣單元(8)與導氣單元(9)之間不發生碰撞。

3.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：所述導氣單元(9)與供氣單元(8)對應側的非淺腔面，采用精加工方式獲得高平面度工作面。

4.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：所述大面積淺腔(8c)可設置在供氣塊(8a)上，也可設置在導氣塊(9a)上。

5.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：所述閉式氣浮單元(13)與導氣塊(9a)的Z向對應面分別均勻布置多個節流孔，多個節流孔通過封氣環(13a)所在的環形通道進行氣路聯通，由閉式氣浮單元(13)的側向進氣孔統一供氣，閉式氣膜密封供氣通道(13b)上形成的多余氣孔通過封氣塞(13c)膠粘密封。

6.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：所述的平面止推氣浮軸承(7)采用環形平面止推小孔節流氣浮軸承、多孔質氣浮軸承或者其他平面止推氣浮軸承形式。

7.根據權利要求1所述的閉式氣膜密封的氣浮物理仿真平臺的非接觸供氣裝置，其特征在于：氣浮物理仿真平臺中的氣浮球軸承組件和平面止推氣浮軸承(7)，可通過在支撐立柱(4)和側向通氣管路(5)中分別增設減壓閥以不同的供氣壓力單獨供氣，也可以對氣浮球軸承組件和平面止推氣浮軸承(7)以相同的供氣壓力同時供氣；所述的供氣單元(8)和閉式氣浮單元(13)可以以相同的供氣壓力同時供氣，也可以以不同的供氣壓力對供氣單元(8)和閉式氣浮單元(13)分別供氣。