[發(fā)明專(zhuān)利]一種斜率拼接檢測(cè)平面元件面形的方法與裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810200195.2
• 申請(qǐng)日: 2018-03-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108613634B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李大海;陳鵬宇;王瑞陽(yáng);郭廣饒;鄂可偉;劉鑫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 四川大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24;G06T3/40
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種斜率拼接檢測(cè)平面元件面形的方法，其特征在于，其基本器件包括針孔相機(jī)、顯示器和被測(cè)元件；檢測(cè)時(shí)，多個(gè)針孔相機(jī)同時(shí)檢測(cè)被測(cè)元件的不同區(qū)域，在測(cè)量裝置和被測(cè)元件無(wú)需移動(dòng)的情況下就可一次完成檢測(cè)，使用的斜率拼接算法能夠矯正不同針孔相機(jī)間由于標(biāo)定和調(diào)整問(wèn)題而出現(xiàn)的測(cè)量相對(duì)誤差，進(jìn)而得到高精度的元件完整斜率，檢測(cè)過(guò)程包括以下步驟：

第一步，檢測(cè)系統(tǒng)中的所有針孔相機(jī)各自檢測(cè)元件上的部分區(qū)域，相鄰區(qū)域間有一定的重疊面積，所有針孔相機(jī)的檢測(cè)區(qū)域能夠覆蓋整個(gè)被測(cè)元件，這樣可以得到每個(gè)針孔相機(jī)各自測(cè)量部分的斜率，即S_1x、S_1y、S_2x、S_2y...S_nx、S_ny，其中S表示測(cè)量得到的斜率，下標(biāo)1,2,3…n表示針孔相機(jī)的編號(hào)，一共有n個(gè)針孔相機(jī)，其中n≥2，x和y表示x和y方向的斜率；

第二步，相鄰針孔相機(jī)重疊區(qū)域內(nèi)的斜率數(shù)據(jù)關(guān)系為：

S_1x-S_2x＝T_x+A_xx+B_xy+C_xx²+D_xy²+E_xxy

S_1y-S_2y＝T_y+A_yx+B_yy+C_yx²+D_yy²+E_yxy

其中S_1x、S_1y分別表示1號(hào)針孔相機(jī)測(cè)量得到的x和y方向的斜率，將1號(hào)針孔相機(jī)作為參考針孔相機(jī)；S_2x、S_2y分別表示2號(hào)針孔相機(jī)測(cè)量得到的x和y方向的斜率，作為待矯正的針孔相機(jī)斜率，T、A、B、C、D、E為對(duì)應(yīng)項(xiàng)的拼接系數(shù)；

第三步，利用相鄰針孔相機(jī)間重疊區(qū)域內(nèi)的采樣點(diǎn)斜率計(jì)算拼接系數(shù)：

其中，n為相鄰針孔相機(jī)間重疊區(qū)域內(nèi)的采樣點(diǎn)數(shù)目，利用上述公式解出x和y方向的拼接系數(shù)T、A、B、C、D、E；

第四步，利用計(jì)算出的拼接系數(shù)矯正2號(hào)針孔相機(jī)測(cè)量得到的所有斜率數(shù)據(jù)：

其中，S_2x和S_2y分別表示2號(hào)針孔相機(jī)直接測(cè)量得到的x和y方向的斜率，S₂′_x和S₂′_y分別表示2號(hào)針孔相機(jī)經(jīng)過(guò)矯正后的x和y方向的斜率，M表示2號(hào)針孔相機(jī)所測(cè)量區(qū)域內(nèi)所有數(shù)據(jù)點(diǎn)的總數(shù)，n表示重疊區(qū)域內(nèi)所有數(shù)據(jù)點(diǎn)的總數(shù)；

第五步，對(duì)所有需要拼接的相鄰區(qū)域重復(fù)第二到第四步，最后將矯正后的所有斜率拼接在一起，即可得到被測(cè)元件拼接后的完整斜率，然后使用區(qū)域法或模式法重建就可以得到被測(cè)元件的面形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斜率拼接檢測(cè)平面元件面形的方法，其特征在于：重疊區(qū)域內(nèi)相鄰相機(jī)間的斜率差異應(yīng)用常數(shù)項(xiàng)、x、y、x²、y²、xy共同來(lái)表示。