[發明專利]一種二次光柵型光子篩有效
| 申請號： | 201810200096.4 | 申請日： | 2018-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN108445568B | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發明（設計）人： | 成雪清;周鵬云;陳雅麗;唐霞梅;梁軍;李祥;潘科;譚依玲 | 申請（專利權）人： | 西南化工研究設計院有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人： | 余小飛;房云 |
| 地址： | 610225 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光子篩 小孔 透明襯底層 光柵型 金屬層 刻槽 亮環 衍射光學元件設計 垂直光軸 三維成像 中心距離 光柵 成像面 物平面 成像 制作 | ||
【權利要求書】：
1.一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述光子篩包括透明襯底層以及位于透明襯底層上的金屬層，所述金屬層上分布有若干個小孔；所述小孔的位置需同時滿足以下條件：
所述小孔的中心距離光子篩中心的距離為rn：
上式中，n為環帶數，f為光子篩焦距，λ為光子篩的設計波長；
所述小孔位于二次光柵的亮環內，亮環由圓弧刻槽組成，各個圓弧刻槽的中心半徑為：
上式中，m是刻槽數，R是二次光柵的口徑的半徑，W20是二次光柵的離焦系數，d0是光柵中心處的周期。
2.如權利要求1所述一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述二次光柵的亮環為圓弧Cm和Cm-1所圍成的區域,其中，m＝…,-5,-3,-1.1,3,5,…。
3.如權利要求1所述一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述小孔的大小d滿足以下條件：
上式中，k為1.53。
4.如權利要求1所述一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述透明襯底層為有機玻璃，所述金屬層為金，銅或者鉻中的一種。
5.如權利要求1所述一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述小孔為振幅型小孔。
6.如權利要求1所述一種二次光柵型光子篩，其特征在于，所述二次光柵的各個圓弧刻槽為同心圓分布，其圓心位置為：
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