[發明專利]氣體保護裝置及空氣軸保護裝置

在審

• 申請號: 201810198043.3
• 申請日: 2018-03-09
• 公開（公告）號: CN108374839A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 張文斌;楊生榮;張盼;衣忠波;王仲康;白陽
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;F16N15/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 黃彩榮

1.一種氣體保護裝置，其特征在于，包括空氣供氣裝置(1)、保護氣供氣裝置(2)和保護閥(3)，所述保護閥(3)上設有空氣進氣口(31)、保護氣進氣口(32)和出氣口(33)，所述空氣供氣裝置(1)與所述空氣進氣口(31)連通，所述保護氣進氣口(32)與所述保護氣供氣裝置(2)連通，通過切換所述保護閥(3)的連通狀態，所述保護閥(3)上的出氣口(33)與所述空氣進氣口(31)或所述保護氣進氣口(32)連通。

2.根據權利要求1所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述保護閥(3)為三通電磁閥，所述空氣供氣裝置(1)的出口設有第一壓力傳感器(311)，所述第一壓力傳感器(311)與所述三通電磁閥之間電連接有微處理器(4)；所述保護氣供氣裝置(2)的出口設有第二壓力傳感器(321)，所述第二壓力傳感器(321)與所述微處理器(4)電連接。

3.根據權利要求2所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述微處理器(4)電連接有報警裝置(5)，所述第一壓力傳感器(311)檢測到所述空氣供氣裝置(1)出口的氣壓低于設定值時，所述微處理器(4)控制所述報警裝置(5)報警。

4.根據權利要求3所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述微處理器(4)與人機交換裝置(6)電連接，所述第一壓力傳感器(311)、所述第二壓力傳感器(321)檢測的氣壓值和所述報警裝置(5)產生的報警信號均顯示于所述人機交換裝置(6)上。

5.根據權利要求2所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述空氣供氣裝置(1)連通有輔助充氣裝置(7)，所述輔助充氣裝置(7)的控制開關與所述微處理器(4)電連接。

6.根據權利要求1－5中任一項所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述空氣進氣口(31)上連通有空氣接頭(312)，所述空氣供氣裝置(1)與所述空氣接頭(312)連通；所述保護氣進氣口(32)上連通有保護氣接頭(322)，所述保護氣供氣裝置(2)與所述保護氣接頭(322)連通；所述出氣口(33)上連通有出氣接頭(331)。

7.根據權利要求6所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述出氣接頭(331)內設有過濾裝置(3311)，所述過濾裝置(3311)對經過所述出氣口(33)的氣體進行過濾凈化。

8.根據權利要求7所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述過濾裝置(3311)包括依次并列設置的一級過濾部件、二級過濾部件和三級過濾部件。

9.根據權利要求1－5中任一項所述的氣體保護裝置，其特征在于，所述保護氣供氣裝置(2)中裝有的保護氣為氮氣。

10.一種空氣軸保護裝置，其特征在于，包括半導體設備和權利要求1－9中任一項所述的氣體保護裝置，所述氣體保護裝置的出氣口(33)與所述半導體設備中空氣軸(8)的空氣腔連通。