[發明專利]一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法在審
| 申請號： | 201810196099.5 | 申請日： | 2018-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN108531981A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發明（設計）人： | 招瑜;陸健婷;李京波 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | C30B23/00 | 分類號： | C30B23/00;C30B29/46;C30B29/64 |
| 代理公司： | 廣東廣信君達律師事務所 44329 | 代理人： | 楊曉松 |
| 地址： | 510062 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硫化 管式爐 二維 石英舟 單晶 云母 云母片 襯底 制備 清洗 氣體流量計 氬氣 材料準備 空氣雜質 氣流控制 完全打開 制備工藝 出氣閥 進氣閥 氣流量 石英管 氬氣瓶 生長 稱量 加熱 保溫 | ||
1.一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：包括如下步驟：
S1：清洗云母片；
S2：材料準備：稱量10-15mg三硫化二銦粉末，將三硫化二銦粉末放置在干凈的石英舟上，將清洗過的云母片平放在石英舟的上方，然后將石英舟放置在管式爐內；
S3：氣流控制：完全打開管式爐的進氣閥與出氣閥，打開氬氣瓶，調節氣體流量計氣流量為500-600sccm，向管式爐的石英管通入氬氣10-30分鐘，以排盡空氣雜質；
S4：加熱生長：打開管式爐，在20分鐘內從室溫升至980度，在980度保溫5-10分鐘后自然冷卻，得到二維三硫化二銦單晶。
2.根據權利要求1所述的一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：步驟S1所述的清洗云母片，具體為在使用云母片前，將云母片依次放進丙酮，無水乙醇，去離子水中各超聲5-30分鐘，然后再用去離子水沖洗數次，最后用氮氣快速吹干，防止空氣中的粉塵的沉積，得到清洗過的云母片。
3.根據權利要求1所述的一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：步驟S2中用電子天平稱量三硫化二銦粉末。
4.根據權利要求1所述的一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：步驟S4中，在500-550度把氣流減少至20sccm，在此之前保持大量氮氣的流入以排盡管式爐石英管中的水蒸氣。
5.根據權利要求1所述的一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：步驟S2中將清洗過的云母片平放在石英舟的正上方。
6.根據權利要求1所述的一種在云母襯底上制備二維三硫化二銦單晶的方法，其特征在于：將石英舟放置在管式爐正中間。
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