[發(fā)明專利]一種大視場拼接式曝光機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810195760.0
• 申請日: 2018-03-09
• 公開（公告）號: CN110244516A
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫雷;張洪波;張婧姣
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)士光電（深圳）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大視場拼接式曝光機，其特征在于：

系統(tǒng)由成像鏡頭Lens， 四片規(guī)格相同的硅基液晶，即LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3及LCOS-4，四片偏振分光片，即PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4，四塊規(guī)格相同的I型直角三角形全反射棱鏡TIR-I-1，TIR-I-2，TIR-I-3及TIR-I-4，兩塊規(guī)格相同的II型直角三角形全反射棱鏡TIR-II-1及TIR-II-2，四個光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4等組成；

其中，光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4分別通過PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4對LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3，LCOS-4獨立照明，LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3及LCOS-4分別與PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4組合，PBS與LCOS光敏面的夾角為45°，PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4再分別與TIR-I-1，TIR-I-2，TIR-I-3及TIR-I-4相對接，PBS與TIR-I入射面的夾角仍為45°，TIR-I的入射面為A面，全反射面為B面，出射面為C面，其余兩個面分別為上端面I及下端面I，TIR-II的入射面為D面，全反射面為E面，出射面為F面，其余兩個面分別為上端面II及下端面II，TIR-I與TIR-II正交布置，即TIR-I的端面與TIR-II的端面垂直，然后將TIR-I-1及TIR-I-4的C面與TIR-II-1的D面膠合，TIR-I-1及TIR-I-4的A面分別與TIR-II-1上下端面重合，TIR-I-1及TIR-I-4的下端面與TIR-II-1的F面重合；TIR-I-2及TIR-I-3的C面與TIR-II-2的D面膠合，TIR-I-2及TIR-I-3的A面分別與TIR-II-2上下端面重合，TIR-I-2及TIR-I-3的下端面與TIR-II-1的F面重合，TIR-II-1及TIR-II-2的F面及上下端面保持重合，TIR-II-1及TIR-II-2拼裝組合后，整個系統(tǒng)再與Lens對接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，其特征在于：

光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4所發(fā)出的光通過的傳輸路徑相同，僅以光源LS-1發(fā)出的光所通過的光路為例，加以說明，光源LS-1發(fā)出的光先通過對應(yīng)的PBS-1透射后，轉(zhuǎn)換成p型偏振光，經(jīng)LCOS-1反射后轉(zhuǎn)變?yōu)榧虞d對應(yīng)的圖像信息且偏振態(tài)為s型偏振光的光場，該光場經(jīng)過PBS-1反射后，由A1面進入TIR-I-1，經(jīng)過B1面發(fā)生全反射后，經(jīng)膠合面C1面進入TIR-II-1中， D1面進行第二次全反射，經(jīng)過E1面出射，在兩次全反射過程中，光場的偏振態(tài)始終為s型偏振光，最后，成像鏡頭將圖像投射到工作面進行數(shù)字曝光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，其特征在于：

為了實現(xiàn)目標曝光圖案在最終工作表面上曝光的目的，目標曝光圖案將在橫向與縱向各均分為兩等分，被分割成4個子曝光圖案，每個子曝光圖案的橫縱比與LCOS芯片的橫縱比保持一致，再將四個子曝光圖案的信息通過同步觸發(fā)信號傳輸?shù)剿膫€LCOS的控制板上，每個LCOS分別加載了不同子曝光圖案的信息，四個子曝光圖案保持同步變換；四個子曝光圖案經(jīng)過光學系統(tǒng)傳輸變換后被重新拼接成一個與原目標曝光圖案完全相同的完整圖像信息，并最終投射到工作面進行數(shù)字曝光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，所述光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4，其特征在于：波長范圍為270nm-470nm的任意波段，光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4的光功率可以進行調(diào)整，進而可以調(diào)節(jié)全視場照度的均勻性。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，所述的LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3及LCOS-4，其特征在于：每個LCOS都具有橫向及縱向的微調(diào)結(jié)構(gòu)，通過微調(diào)實現(xiàn)四個LCOS所對應(yīng)的四個子視場進行無縫拼接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，所述的TIR-I-1，TIR-I-2，TIR-I-3及TIR-I-4，是四個參數(shù)完全相同的45°直角棱鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大視場拼接式曝光機，所述的TIR-II-1， TIR-II-2，是兩個參數(shù)完全相同的45°直角棱鏡。