[發明專利]基于三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置

有效

• 申請號: 201810190266.5
• 申請日: 2018-03-08
• 公開（公告）號: CN108282950B
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 章程;甘汶艷;邵濤;王瑞雪;嚴萍
• 申請（專利權）人: 中國科學院電工研究所
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 北京君泊知識產權代理有限公司 11496
• 代理人: 王程遠;胡玉章

1.一種三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述等離子體發生裝置包括兩個相對布置的豎直介質板和若干個均勻固定在兩個豎直介質板上的放電單元，所述放電單元左、右對稱布置且均分布在兩個豎直介質板的外側；高壓平板電極(1)位于兩個豎直介質板的之間并緊密貼合；其中，每個放電單元均包括水平介質板，所述水平介質板垂直固定在所述豎直介質板上；在所述水平介質板的上表面緊貼有直流電極(2)，在所述水平介質板的下表面緊貼有地電極(3)，整個地電極(3)上封裝有熱熔膠(4)；每側的相鄰放電單元之間距離最小為10mm；所述地電極(3)放置于直流電極(2)的內側，且所述地電極(3)內側與豎直介質板相距10mm，所述地電極(3)外側與直流電極(2)的水平間距為0mm；

所述等離子體發生裝置放置于反應腔(8)中，所述反應腔(8)的兩側分別開有氣孔，且通過導氣管分別與廢氣收集器(9)以及回收器(11)連接，所述反應腔(8)內氣體流向分別與所述豎直介質板、所述水平介質板平行；另外，所述反應腔(8)上還設有三個導線孔，分別用于高壓平板電極(1)與納秒脈沖電源(6)的連接、直流電極(2)與直流電源(7)的連接以及地電極(3)的接地連接。

2.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述豎直介質板和水平介質板均為介質阻擋層(5)，采用絕緣材料，為有機玻璃、環氧玻璃布或聚四氟乙烯；所述豎直介質板呈長方形狀，豎直長度為150mm，寬度為100mm，厚度為1mm；所述水平介質板呈正方形狀，邊長為100mm，厚度為1mm。

3.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述高壓平板電極(1)采用金屬材料，為銅、鋁或不銹鋼；所述高壓平板電極(1)呈長方形狀，豎直長度為130mm，寬度為80mm，厚度為0.5mm。

4.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述直流電極(2)采用金屬材料；所述直流電極(2)呈矩形長條狀，寬度為8mm，長度為80mm，厚度為0.5mm。

5.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述地電極(3)采用金屬電極；所述地電極(3)呈矩形長條狀，寬度為25mm，長度為80mm，厚度為0.5mm。

6.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，每側放電單元的數量為3～10個，相鄰放電單元的間距根據放電單元數量確定。

7.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述反應腔(8)為長方體狀或正方體狀的有機玻璃反應腔；所述反應腔(8)的底面長、寬均為350mm，壁厚為10mm；所述氣孔直徑為25mm，導線孔直徑為3mm。

8.根據權利要求1所述的三電極表面介質阻擋放電的大氣壓等離子體發生裝置，其特征在于，所述廢氣收集器(9)還連接空氣壓縮機(10)。