[發明專利]電可編程熔絲結構以及半導體器件

有效

• 申請號: 201810189694.6
• 申請日: 2018-03-08
• 公開（公告）號: CN108493182B
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 陳面國
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: H01L23/525
• 分類號: H01L23/525;H01L27/115
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種電可編程熔絲結構，其特征在于，包括一陰極、一熔絲鏈和一陽極，所述陰極和所述陽極經由所述熔絲鏈相互連接，并且所述陰極和所述熔絲鏈在一連接點處相互連接；其中，

所述陰極包含多條導電分支，以排列出一收斂側和一發散側，所述陰極的所述收斂側連接至所述連接點以和所述熔絲鏈連接。

2.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，在所述電可編程熔絲結構的編程過程中，多條所述導電分支中的電子流匯聚至所述陰極和所述熔絲鏈的所述連接點，以進入所述熔絲鏈中。

3.如權利要求2所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極上設置有用于連接電源的電源連接端，所述電源連接端設置在沿著電子流的流通方向上最遠離所述連接點的所述導電分支上。

4.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中至少有兩條所述導電分支與所述連接點連接，在所述電可編程熔絲結構的編程過程中，與所述連接點連接的導電分支中的電子流在所述連接點處匯聚。

5.如權利要求4所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中的多個所述導電分支劃分為N個分支組，N為大于等于1的正整數；其中，

第一個分支組中的導電分支與所述連接點P連接，第N個分支組中的導電分支與第N-1個分支組中的導電分支連接，以在所述電可編程熔絲結構的編程過程中，使電子流從第N個分支組中的導電分支經由第N-1個分支組中的導電分支逐級匯入到第一個分支組中的導電分支，并匯聚到所述連接點。

6.如權利要求5所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極的N個分支組中，第N個分支組中的導電分支的數量大于第N-1個分支組中的導電分支的數量，以在所述電可編程熔絲結構的編程過程中，使N個分支組中從第N個分支組至第一個分支組的電子流密度逐級遞增。

7.如權利要求4所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中的全部所述導電分支均與所述連接點連接，并往遠離所述熔絲鏈的方向擴散延伸。

8.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，沿著陰極電子流的流通路徑往靠近所述連接點的方向上，所述陰極的有效寬度尺寸呈梯度遞減，以在所述電可編程熔絲結構的編程過程中，使所述陰極的電子流密度在電子流的流通路徑上往靠近所述連接點的方向呈梯度遞增，其中，所述陰極的有效寬度尺寸為所述陰極中有參與電子流流通的部分的總寬度尺寸。

9.如權利要求8所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中的多條所述導電分支構成網格狀結構，并且所述網格狀結構的網格數量往靠近所述連接點的方向依次減少。

10.如權利要求9所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述網格狀結構的網格形狀為矩形或菱形，所述網格狀結構中靠近所述連接點的網格的頂角連接至所述連接點。

11.如權利要求9所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述網格狀結構的網格形成為矩形或菱形，并且所述網格狀結構中其網格的最短對角線的長度尺寸大于等于最小線距設計尺寸的4倍。

12.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中的多條所述導電分支構成網格狀結構。

13.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極中的多條所述導電分支構成梳子狀結構。

14.如權利要求1所述的電可編程熔絲結構，其特征在于，所述陰極為以所述熔絲鏈的長度方向為軸線方向的對稱結構。