[發明專利]電磁感應式位移檢測設備及使用該設備的測量儀器

有效

• 申請號: 201810189412.2
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN108627078B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 久保園纮士
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 葛青

1.一種電磁感應式位移檢測設備，包括：包括標尺線圈的標尺；以及面向所述標尺并且在測量方向上沿著所述標尺相對地移動的頭部，其中，

所述頭部包括：

發送裝置，其包括在所述標尺線圈中產生磁通量的發送線圈；以及

接收裝置，其包括第一接收單元和第二接收單元，所述第一接收單元和所述第二接收單元各自接收來自所述標尺線圈的磁通量的變化，并且在所述接收裝置中，所述第一接收單元和所述第二接收單元布置為沿著所述測量方向彼此偏移，并且

所述第一接收單元和所述第二接收單元包括：

沿著列方向平行地布置的多個線圈線路，所述多個線圈線路包括沿著平行于所述測量方向的行方向布置的多個接收線圈，并且

所述接收裝置包括：

在所述測量方向上分別設置在一個端側和另一端側的一個端部部分和另一端部部分，并且在所述一個端部部分和所述另一端部部分中，使所述多個接收線圈的密度稀疏；以及

設置在所述一個端部部分與所述另一端部部分之間的中心部分，并且在所述中心部分中，使所述多個接收線圈的密度密集，

其中，

在所述一個端部部分和所述另一端部部分中，

通過從所述多個線圈線路中移除至少一個線圈線路中的接收線圈中的一些，使所述多個接收線圈的密度稀疏，

其中，

所述第一接收單元和所述第二接收單元包括三行或更多行線圈線路，并且

在所述一個端部部分和所述另一端部部分中，

通過以關于沿著所述測量方向的對稱軸線的軸對稱的方式、從所述多個線圈線路中移除布置在所述列方向上的兩側的線圈線路中的每一個的接收線圈中的一些，使所述多個接收線圈的密度稀疏。

2.根據權利要求1所述的電磁感應式位移檢測設備，其中，

在所述一個端部部分和所述另一端部部分中，

通過移除相同數量的接收線圈，使所述多個接收線圈的密度稀疏。

3.一種測量儀器，包括根據權利要求1所述的電磁感應式位移檢測設備，其中，

基于由所述電磁感應式位移檢測設備所檢測到的標尺與頭部之間的移動量來輸出測量結果。