[發明專利]一種掩膜版

有效

• 申請號: 201810188271.2
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN108179380B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 丁渭渭;徐鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 張京波;曲鵬

1.一種掩膜版，包括版體，其特征在于，所述版體上具有：

抓持區域；

位于所述抓持區域內側的圓弧標識區域；

位于所述圓弧標識區域內側的焊接區域；

位于所述圓弧標識區域內側的條塊標識區域；和

位于所述條塊標識區域內側的有效顯示區域；

其中，所述圓弧標識區域和所述條塊標識區域內開設有應力平衡槽；

所述條塊標識區域包括：塊狀標識區域，位于所述圓弧標識區域的內側；和條狀標識區域，位于所述塊狀標識區域的內側；

所述焊接區域位于所述塊狀標識區域和所述條狀標識區域之間。

2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述圓弧標識區域的凹曲面朝外。

3.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述塊狀標識區域包括橫置的多個塊狀標識框，多個所述塊狀標識框排列成多行，多個所述塊狀標識框的長度不同，每行的相鄰兩個所述塊狀標識框之間的間隔在行方向上錯位設置，所述塊狀標識框內開設所述應力平衡槽。

4.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述條狀標識區域包括橫置的條狀標識框，所述條狀標識框內開設所述應力平衡槽。

5.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述圓弧標識區域包括半圓形標示框，所述半圓形標示框內開設所述應力平衡槽。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的掩膜版，其特征在于，所述圓弧標識區域和所述條塊標識區域通過仿真分析進行確定。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的掩膜版，其特征在于，所述應力平衡槽為通槽或盲孔槽，且所述應力平衡槽呈六邊形狀、正方形狀、圓形狀或柵條形狀。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的掩膜版，其特征在于，所述條塊標識區域的左端與所述版體的左邊緣之間的距離、以及所述條塊標識區域的右端與所述版體的右邊緣之間的距離均不大于1mm。