[發(fā)明專利]脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810186259.8 | 申請日： | 2018-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN108406098A | 公開（公告）日： | 2018-08-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊立軍;丁燁;程柏;王懋露;王揚 | 申請（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | B23K26/0622 | 分類號： | B23K26/0622;B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11473 | 代理人： | 閆冬;吳航 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 飛秒激光 復(fù)合加工系統(tǒng) 射流發(fā)生裝置 電解射流 納秒脈沖 脈沖 射流 加工 反射式物鏡 供電子系統(tǒng) 激光反射鏡 可見光透射 調(diào)節(jié)器 時序 電解腐蝕 激光燒蝕 脈沖序列 實際需求 同軸監(jiān)測 激光束 示波器 工作臺 調(diào)控 供液 沖刷 供電 | ||
1.一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，包括脈沖序列調(diào)節(jié)器、飛秒激光子系統(tǒng)、可見光透射激光反射鏡、激光束與射流同軸監(jiān)測子系統(tǒng)、反射式物鏡、供液子系統(tǒng)、納秒脈沖供電子子系統(tǒng)、射流發(fā)生裝置、工作臺、示波器；其中，
所述脈沖序列調(diào)節(jié)器在所述飛秒激光脈沖和所述納秒脈沖供電子系統(tǒng)脈沖之間產(chǎn)生一定的脈沖延遲，并通過所述波器實時顯示；
所述飛秒激光子系統(tǒng)產(chǎn)生的激光經(jīng)過所述可見光透射激光反射鏡反射后到達所述反射式物鏡表面；
所述供液子系統(tǒng)提供的高壓液體經(jīng)過所述射流發(fā)生裝置形成射流；
所述射流同軸監(jiān)測子系統(tǒng)將所述飛秒激光子系統(tǒng)發(fā)射的激光和所述射流發(fā)生裝置的射流進行同軸調(diào)節(jié)；
通過飛秒激光子系統(tǒng)進行激光燒蝕、納秒脈沖供電子系統(tǒng)進行電解腐蝕、射流發(fā)生裝置進行射流沖刷；三種作用不同的時序分布對所述工作臺上的工件進行加工。
2.如權(quán)利要求1所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述飛秒激光子系統(tǒng)包括飛秒激光器、激光擴束鏡、光路調(diào)整鏡組；所述飛秒激光器的一端連接脈沖序列調(diào)節(jié)器，所述飛秒激光器射出的激光能夠通過所述激光擴束鏡后并通過所述光路調(diào)整鏡組的折射射向所述可見光透射激光反射鏡。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述激光束與射流同軸監(jiān)測子系統(tǒng)包括白光光源、衰減鏡、濾光鏡、CCD和光學(xué)鏡頭；所述衰減鏡、濾光鏡、CCD和光學(xué)鏡頭與所述光路調(diào)整鏡組的折射出的激光光路同軸線布置；所述白光光源為旁軸線布置。
4.如權(quán)利要求3所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述供液子系統(tǒng)包括三相變頻電機、高壓柱塞泵、蒸餾水箱、第一單向閥、電解液箱、第二單向閥、三通閥、單向過濾器、蓄能器、安全閥、壓力表、雙向過濾器、廢液回收箱；
所述相變頻電機與高壓柱塞泵之間通過聯(lián)軸器連接，所述高壓柱塞泵的排出端與所述蓄能器、安全閥、壓力表、雙向過濾器依次連接；所述高壓柱塞泵的吸入端與所述單向過濾器連接，所述單向過濾器的另一端連接所述三通閥，所述三通閥的其余兩端分別連接所述第一單向閥與所述第二單向閥；所述第一單向閥連接所述蒸餾水箱，所述第二單向閥連接所述電解液箱；所述安全閥還連接有所述廢液回收箱。
5.如權(quán)利要求1或4所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述納秒脈沖供電子系統(tǒng)包括納秒脈沖發(fā)生器以及高壓直流電源；所述高壓直流電源的正極與工作臺連接，負極與射流發(fā)生裝置連接，所述納秒脈沖發(fā)生器與高壓直流電源的信號輸入端連接。
6.如權(quán)利要求5所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述射流發(fā)生裝置包括快速接頭、激光束與射流同軸調(diào)整裝置、射流腔、射流束；所述激光束與射流同軸調(diào)整裝置與射流腔同軸剛性連接；所述快速接頭與射流腔剛性連接；所述快速接頭還能夠與所述雙向過濾器連接。
7.如權(quán)利要求1或6所述的一種脈沖調(diào)控的飛秒激光-納秒電解射流復(fù)合加工系統(tǒng)，其特征在于，所述工作臺包括工件和工作臺面；所述工作臺面包括夾具、導(dǎo)液槽；所述夾具用于將工件調(diào)整至加工位置，所述導(dǎo)液槽與所述廢液回收箱通過水管連。
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