[發(fā)明專利]一種制備碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810182731.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108417714A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藍(lán)河;魏勤;李勝夏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海冪方電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/05
• 分類號(hào): H01L51/05;H01L51/40;H01L51/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制備方法，所述碳納米管場(chǎng)效應(yīng)管至少包含基底、柵極、介電層、漏極和碳納米管層，采用三維打印法制作電極層和介電層，其特征在于介電層材料是聚(4-乙烯基苯酚)或聚乙烯醇，碳納米管層采用滴涂碳納米管分散液的方式制備。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其中所述三維打印法是指噴墨打印法。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其中基底層可以是剛性基底或柔性基底。

4.如權(quán)利要求3所述的制備方法，其中剛性基底采用半導(dǎo)體材料，同時(shí)作為柵極。

5.如權(quán)利要求3所述的制備方法，其中柔性基底是聚酰亞胺、聚醚酮醚、聚苯硫醚、聚酰胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等塑料或者纖維基底材料中的一種。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，介電層材料是聚(4-乙烯基苯酚)。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過(guò)噴墨打印導(dǎo)電墨水制備所述電極層，所述導(dǎo)電墨水優(yōu)選為銀墨水。

8.如權(quán)利要求7的方法，其特征在于，打印完電極層和介電層后，分別經(jīng)過(guò)退火處理步驟再進(jìn)行下一步制備過(guò)程。