[發(fā)明專利]一種壓力傳感器及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810182414.9 | 申請(qǐng)日: | 2018-03-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108444619A | 公開(公告)日: | 2018-08-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李勝夏;任大勇;藍(lán)河 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海冪方電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01L1/14 | 分類號(hào): | G01L1/14 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201612 上海市松江*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 制備 柔性壓力傳感器 壓力傳感器 昂貴設(shè)備 電極陣列 復(fù)雜工藝 技術(shù)效果 器件結(jié)構(gòu) 柔性基底 壓敏材料 靈敏度 刮涂 打印 | ||
1.一種壓力傳感器,包括:
第一襯底;
第一電極層,打印于所述第一襯底上;
第二襯底;
第二電極層,打印于所述第二襯底上;
壓敏材料層,位于所述第一電極層與所述第二電極層之間;其中,
所述壓敏材料是具有壓敏特性的有機(jī)材料;所述電極為微陣列電極。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器,其特征在于:所述壓敏特性的有機(jī)材料為有機(jī)硅材料和/或彈性聚氨酯橡膠中的至少一種。
3.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器,其特征在于:所述第一電極層的電極陣列與所述第二電極層的陣列相互垂直分布。
4.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器,其特征在于:所述第一襯底和所述第二襯底為柔性襯底。
5.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器,其特征在于:所述柔性襯底為選自PET、PEN或PI薄膜中的一種或兩種。
6.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器,其特征在于:所述第一電極層和所述第二電極層銀、銅、鎳等金屬導(dǎo)體電極或者PEDOT:PSS、聚苯胺、聚吡咯等有機(jī)導(dǎo)體中的一種或者任意兩種組合。
7.如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器的制備方法,包括以下步驟:
1)在所述第一襯底上打印所述第一電極層;
2)在所述第一電極層上刮涂壓敏復(fù)合物,形成壓敏材料層;
3)在所述第二襯底上打印所述第二電極層;
4)在所述第二電極層上刮涂壓敏復(fù)合物,形成壓敏材料層;
5)選取大小相同的覆有壓敏材料層的第一電極層與覆有壓敏材料的第二電極層,使兩者的壓敏材料層相對(duì)貼合,并使所述第一電極層的陣列與所述第二電極層的陣列垂直。
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