[發(fā)明專利]一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置

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• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108286048A
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 德化利鑫新材料科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23G3/00
• 代理公司: 深圳市漢唐知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44399
• 代理人: 彭益宏

1.一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，其特征在于，包括底座(1)、供液機構(gòu)、清洗盒(2)、密封板(3)、夾持機構(gòu)、噴頭(4)、移動機構(gòu)、控制器(5)和排氣機構(gòu)，所述供液機構(gòu)、清洗盒(2)和排氣機構(gòu)依次設(shè)置在底座(1)的上方，所述控制器(5)固定在底座(1)的上方，所述控制器(5)內(nèi)設(shè)有PLC，所述密封板(3)位于清洗盒(2)的上方，所述移動機構(gòu)和夾持機構(gòu)均設(shè)置在密封板(3)的下方，所述移動機構(gòu)與噴頭(4)傳動連接，所述噴頭(4)與供液機構(gòu)連接；

所述移動機構(gòu)包括第一電機(6)、緩沖塊(7)、第一驅(qū)動軸(8)、滑塊(9)、固定桿(10)和擺動組件，所述第一電機(6)和固定桿(10)均固定在密封板(3)的下方，所述固定桿(10)位于第一電機(6)的遠(yuǎn)離夾持機構(gòu)的一側(cè)，所述第一電機(6)與PLC電連接，所述第一電機(6)與第一驅(qū)動軸(8)的頂端傳動連接，所述緩沖塊(7)位于第一驅(qū)動軸(8)的底端，所述緩沖塊(7)與固定桿(10)固定連接，所述滑塊(9)套設(shè)在第一驅(qū)動軸(8)和固定桿(10)上，所述滑塊(9)的與第一驅(qū)動軸(8)的連接處設(shè)有與第一驅(qū)動軸(8)匹配的螺紋，所述擺動組件位于滑塊(9)的靠近夾持機構(gòu)的一側(cè)；

所述排氣機構(gòu)包括入氣管(11)、處理盒(12)、加料管(13)、加料盒(14)和排氣管(15)，所述處理盒(12)固定在底座(1)的上方，所述入氣管(11)的一端與清洗盒(2)連通，所述入氣管(11)的另一端位于處理盒(12)內(nèi)的底部，所述排氣管(15)位于處理盒(12)的遠(yuǎn)離入氣管(11)的一側(cè)，所述加料盒(14)通過加料管(13)固定在處理盒(12)的上方，所述加料盒(14)通過加料管(13)與處理盒(12)連通，所述加料盒(14)的上方設(shè)有蓋板，所述加料盒(14)內(nèi)設(shè)有加料組件。

2.如權(quán)利要求1所述的用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，其特征在于，所述供液機構(gòu)包括支柱(16)、供液盒(17)、第一水管(18)、第二水管(19)、第三水管(20)和水泵(21)，所述供液盒(17)通過支柱(16)固定在底座(1)的上方，所述供液盒(17)的頂端設(shè)有注液管，所述供液盒(17)的底端設(shè)有排水管，所述排水管上設(shè)有排水閥，所述供液盒(17)的底端通過第一水管(18)與噴頭(4)連通，所述水泵(21)固定在密封板(3)的上方，所述水泵(21)與PLC電連接，所述水泵(21)通過第三水管(20)與供液盒(17)連通，所述第二水管(19)的頂端與水泵(21)連通，所述第二水管(19)的底端位于清洗盒(2)內(nèi)的底部。

3.如權(quán)利要求2所述的用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，其特征在于，所述供液盒(17)的底部設(shè)有第一PH計(22)，所述處理盒(12)內(nèi)的底部設(shè)有第二PH計(23)，所述第一PH計(22)和第二PH計(23)均與PLC電連接。

4.如權(quán)利要求1所述的用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，其特征在于，所述擺動組件包括托板(24)、第二電機(25)、驅(qū)動輪(26)、固定軸(27)和回形框(28)，所述托板(24)固定在滑塊(9)上，所述第二電機(25)固定在托板(24)的上方，所述第二電機(25)與PLC電連接，所述第二電機(25)與驅(qū)動輪(26)傳動連接，所述固定軸(27)固定在驅(qū)動輪(26)的遠(yuǎn)離圓心處，所述固定軸(27)位于回形框(28)內(nèi)，所述回形框(28)的一端與托板(24)鉸接，所述回形框(28)的另一端與噴頭(4)固定連接。

5.如權(quán)利要求1所述的用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，其特征在于，所述加料組件包括第三電機(29)、半齒輪(30)、框架(31)、加料桿(32)、加料塊(33)和兩個齒條(34)，所述第三電機(29)固定在加料盒(14)的內(nèi)壁上，所述第三電機(29)與PLC電連接，所述第三電機(29)與半齒輪(30)傳動連接，兩個齒條(34)分別固定在框架(31)的兩側(cè)的內(nèi)壁上，所述半齒輪(30)位于兩個齒條(34)之間，所述半齒輪(30)與齒條(34)嚙合，所述加料塊(33)通過加料桿(32)固定在框架(31)的下方。