[發明專利]用于和借助真空閥的優化的壓力調節

有效

• 申請號: 201810181662.1
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108571616B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: W·梅德萊納;L·馬魯格;H·松德雷格
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K31/12
• 分類號: F16K31/12;F16K3/02;F16K3/30
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王小東

1.一種包括真空閥（10）和調節控制單元（11）的閥系統，所述真空閥（10）用于調節體積流或質量流和/或用于氣密密封處理容積（1），其中所述真空閥（10）包括：

?閥座，所述閥座具有限定開口軸線（34）的閥開口（33）以及圍繞所述閥開口（33）延伸的第一密封表面（35）；

?閥閉合件（38），所述閥閉合件（38）用于大致氣密地閉合所述閥開口（33），所述閥閉合件具有對應于所述第一密封表面（35）的第二密封表面；以及

?驅動單元（40），所述驅動單元（40）聯接到所述閥閉合件（38）并且被配置成使得所述閥閉合件（38）：

o能夠以限定的方式變化和調整以提供相應的閉合位置；并且

o能從打開位置（O）調整到閉合位置中并且能反向調整，在所述打開位置（O）中，所述閥閉合件（38）至少部分地釋放所述閥開口（33），在所述閉合位置中，所述第一密封表面（35）被按壓到所述第二密封表面上并且使所述閥開口（33）以大致氣密的方式閉合，

其特征在于，所述調節控制單元（11）被配置成執行具有針對所述閥閉合件（38）的預先調節步驟（53a）和隨后調節步驟（53b）的調節周期，其中當執行所述調節周期時：

?在所述預先調節步驟（53a）過程中，所述閥閉合件（38）通過所述驅動單元（40）的相應啟動而移動，移動到受所述調節控制單元（11）控制的限定的實際預先調節位置中；并且

?在所述隨后調節步驟（53b）過程中，通過基于工藝參數的實際確定的控制變量（12）以及目標值（13）來啟動所述驅動單元（40），根據所述實際預先調節位置執行所述閉合位置的特定變化或調整，其中能至少部分地預測因所述閥閉合件（38）的限定位置變化對所述控制變量（12）造成的影響，

其中，所述調節控制單元（11）具有更新功能，所述更新功能被配置成使得在執行期間：

?至少在所述調節周期的一部分期間記錄所述控制變量（12），并且基于此導出實際調節廓線（21，51）；

?將所述實際調節廓線（21，51）與參考調節廓線比較，并且導出調節偏差；

?根據導出的所述調節偏差的表現并基于對所述控制變量（12）的可至少部分預測的影響來修正所述實際預先調節位置；并且

?將修正的所述實際預先調節位置設置和/或儲存為所述調節周期的所述實際預先調節位置，

其中，所述調節控制單元（11）被配置成使得能連續地執行所述更新功能。

2.根據權利要求1所述的閥系統，其特征在于，所述更新功能被配置成使得：

?通過在執行第一調節周期或第一調節步驟期間記錄所述控制變量（12）來產生和儲存所述參考調節廓線；并且

?通過在執行第二調節周期或第二調節步驟期間記錄所述控制變量（12）來導出所述實際調節廓線（21，51）。

3.根據權利要求1或2所述的閥系統，其特征在于，所述調節控制單元（11）被配置成使得通過在執行多個調節周期或多個調節步驟期間記錄所述控制變量（12）來產生和儲存所述參考調節廓線。

4.根據權利要求1所述的閥系統，其特征在于，所述調節控制單元（11）具有用于產生所述參考調節廓線的學習功能，其中所述學習功能被配置成使得在執行期間：

?為了進行與所述調節周期的期望操作對應的多次大致相同的調節周期，在相應調節周期的至少一個時間段內記錄所述閥閉合件（38）的相應期望位置；并且

?參考所述調節周期的相應時間段，將用于所述閥閉合件（38）的記錄的期望位置作為所述參考調節廓線儲存。

5.根據權利要求1所述的閥系統，其特征在于，所述調節控制單元（11）被配置成使得所述實際預先調節位置被修正，使得利用修正的所述實際預先調節位置產生在方向和/或幅度方面以限定的方式抵消所述調節偏差的對所述控制變量（12）的影響。

6.根據權利要求1所述的閥系統，其特征在于，根據啟動信號（5）的接收來啟動或執行所述預先調節步驟（53a）。