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[發(fā)明專利]一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201810181251.2 申請(qǐng)日: 2018-03-06
公開(kāi)(公告)號(hào): CN108249430B 公開(kāi)(公告)日: 2019-07-16
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 劉偉 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 紹興文理學(xué)院
主分類號(hào): C01B32/194 分類號(hào): C01B32/194
代理公司: 紹興市寅越專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33285 代理人: 郭云梅
地址: 312000 *** 國(guó)省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 石墨烯 硅摻雜 氣相沉積法 超聲反應(yīng) 減壓蒸餾 無(wú)水乙醇 反應(yīng)釜 懸濁液 醇液 吸附 沉淀 冷卻 硅烷氣體 機(jī)械攪拌 加熱加壓 聚乙二醇 氫氣反應(yīng) 完全溶解 可控性 粘稠液 烘干 蓬松 放入 加熱 過(guò)濾 密封 生產(chǎn)
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述氣相沉積法按照如下步驟:

步驟1,將石墨烯粉末加入至無(wú)水乙醇中,密封超聲反應(yīng)30-60min,冷卻后得到石墨烯懸濁液;

步驟2,將聚乙二醇加入至石墨烯懸濁液中,機(jī)械攪拌至完全溶解,得到石墨烯分散醇液;

步驟3,將石墨烯分散醇液放入減壓蒸餾反應(yīng)釜中減壓蒸餾反應(yīng)2-5h,得到粘稠液,烘干得到蓬松的石墨烯塊;

步驟4,將石墨烯塊加入反應(yīng)釜中,加熱靜置20-40min,然后通入硅烷氣體反應(yīng)3-8h,自然冷后得到石墨烯吸附塊;

步驟5,將石墨烯吸附塊加入無(wú)水乙醇中超聲反應(yīng)30-60min,過(guò)濾后得到硅摻雜沉淀;

步驟6,將硅摻雜沉淀在氫氣反應(yīng)釜中加熱加壓反應(yīng)3-6h,冷卻后得到硅摻雜石墨烯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟1中的石墨烯在無(wú)水乙醇中的濃度為20-40g/L,所述密封超聲反應(yīng)的頻率為5-10kHz,溫度為50-70℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟2中的聚乙二醇的加入量是石墨烯粉末質(zhì)量的40-60%,所述機(jī)械攪拌的攪拌速度為2000-4000r/min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟3中的減壓蒸餾反應(yīng)的壓力為大氣壓的50-70%,溫度為60-80℃,所述粘稠液的體積是石墨烯分散醇液的10-15%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟4中的加熱靜置的溫度為500-700℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟4中的硅烷通入量是石墨烯質(zhì)量的20-40%,所述硅烷氣體的通入速度為20-40mL/min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟5中無(wú)水乙醇加入量是石墨烯粉末質(zhì)量的60-80%,所述超聲反應(yīng)的超聲頻率為10-15kHz。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述步驟6中的氫氣加入量是石墨烯質(zhì)量的50-60%。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅摻雜石墨烯的氣相沉積法,其特征在于:所述加熱加壓反應(yīng)的溫度為300-400℃,壓力為2-4MPa。

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