[發(fā)明專利]一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備

在審

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• 申請日: 2018-03-05
• 公開（公告）號: CN108267461A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許孟凱;陳勝男;林張鴻;邱文宗;林偉銘;陳智廣;吳淑芳
• 申請（專利權(quán)）人: 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

1.一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元、半反射鏡、物鏡單元和載物臺機構(gòu)；

所述第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元相對設(shè)置，載物臺機構(gòu)的載物平臺上的通光孔位于第一發(fā)光單元的光路上，以及載物臺機構(gòu)的載物平臺上的通光孔也位于第二發(fā)光單元的光路上，物鏡單元的入射端對準(zhǔn)載物臺的通光孔，所述半反射鏡的反射面朝向物鏡單元的出射端設(shè)置，所述物鏡單元是具有紅外光致熒光呈現(xiàn)功能的物鏡；

載物臺機構(gòu)用于接收第一發(fā)光單元的光束時載物臺機構(gòu)的載物平臺上的通光孔開啟，以及載物臺機構(gòu)用于接收第二發(fā)光單元的光束時載物臺機構(gòu)的載物平臺上的通光孔閉合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，還包括觀測機構(gòu)，觀測機構(gòu)包括目鏡、棱鏡反射組和補助透鏡，補助透鏡設(shè)置在半反射鏡的反射光路上，棱鏡反射組設(shè)置在補助透鏡與目鏡之間，棱鏡反射組用于反射光束到目鏡上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，還包括同步電路單元，同步電路單元與第一發(fā)光單元電連接，同步電路單元與第二發(fā)光單元電連接，同步電路單元用于協(xié)調(diào)控制第一發(fā)光單元或第二發(fā)光單元發(fā)光時載物臺上通光孔的開啟或閉合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，還包括光源機構(gòu)，光源機構(gòu)包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元和光路引導(dǎo)單元，第一發(fā)光單元設(shè)置在光源機構(gòu)的一側(cè)面上，第二發(fā)光單元設(shè)置在光源機構(gòu)的另一側(cè)面上，光路引導(dǎo)單元用于引導(dǎo)第一發(fā)光單元形成一個環(huán)形光路，且光路引導(dǎo)單元用于引導(dǎo)第二發(fā)光單元形成一個與第一發(fā)光單元方向相反的環(huán)形光路。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述載物臺機構(gòu)還包括三軸控制器和載物平臺，所述載物平臺的通光孔上設(shè)置有遮光板，同步電路單元設(shè)置有同步開關(guān)，同步開關(guān)設(shè)置在載物平臺的內(nèi)部空腔上，同步開關(guān)與遮光板連接，載物平臺的通光孔位于光路引導(dǎo)單元的環(huán)形光路上，三軸控制器設(shè)置在載物平臺的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述光源機構(gòu)還包括切換單元，切換單元的第一輸出端與第一發(fā)光單元電連接，切換單元的第二輸出端與第二發(fā)光單元電連接，所述切換單元的輸入端與同步電路單元電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述光路引導(dǎo)單元包括第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡，第一反射鏡的鏡面同時與光源機構(gòu)的第一發(fā)光單元和第二反射鏡的鏡面相對設(shè)置，第三反射鏡的鏡面同時與第二反射鏡的鏡面和光源機構(gòu)的第二發(fā)光單元相對設(shè)置，第一反射鏡與光源機構(gòu)的第一發(fā)光單元之間設(shè)置有第一聚光鏡組，第三反射鏡與光源機構(gòu)的第二發(fā)光單元之間設(shè)置有第二聚光鏡組，第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡用于反射引導(dǎo)第一發(fā)光單元或第二發(fā)光單元發(fā)射出的光束。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述載物臺機構(gòu)與第二反射鏡之間設(shè)置有第三聚光鏡組。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述載物臺機構(gòu)與第一反射鏡之間設(shè)置有第四聚光鏡組。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變光路的光學(xué)顯微鏡檢測設(shè)備，其特征在于，所述載物臺機構(gòu)還包括夾具，所述夾具設(shè)置有多個，多個夾具沿著載物平臺的頂面的邊緣設(shè)置。