[發(fā)明專利]切削刀具和安裝凸緣

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810178284.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-05
• 公開（公告）號(hào): CN108568915B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·加德;美細(xì)津祐成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00;B28D7/04;B28D5/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供切削刀具和安裝凸緣，能夠節(jié)約清洗用的清洗液，提高切削加工的效率。該切削刀具固定于切削裝置的主軸的前端，在被提供了切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削，該切削刀具包含：在一個(gè)面?zhèn)刃纬捎休嗇S部的圓形基臺(tái)；以及形成在該圓形基臺(tái)的與該一個(gè)面相反的面?zhèn)鹊耐庵懿康那腥校谠搱A形基臺(tái)上沿著周向形成有切削液擋回部。另外，該安裝凸緣將在被提供了切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削的切削刀具固定于切削裝置的主軸的前端，該安裝凸緣具有與安裝凸緣主體的凸緣部一起對(duì)該切削刀具進(jìn)行夾持而固定的固定螺母，在該凸緣部上，在該支承面的背面?zhèn)妊刂芟蛐纬捎星邢饕簱趸夭俊?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在提供有切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削的切削刀具以及將切削刀具固定于主軸的前端的安裝凸緣。

背景技術(shù)

已知有利用圓環(huán)狀的切削刀具對(duì)半導(dǎo)體晶片或封裝基板、陶瓷基板、玻璃基板等被加工物進(jìn)行精密地切削加工的切削裝置。在該切削裝置中，該切削刀具被主軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，通過使該主軸旋轉(zhuǎn)而使切削刀具旋轉(zhuǎn)，并且使旋轉(zhuǎn)的切削刀具切入至被加工物，從而對(duì)被加工物進(jìn)行切削加工。

在該被加工物的正面上，例如在由呈格子狀設(shè)定的分割預(yù)定線劃分的多個(gè)區(qū)域分別形成有IC或LSI等器件。并且，當(dāng)沿著該分割預(yù)定線對(duì)被加工物進(jìn)行切削而將被加工物分割時(shí)，形成具有器件的多個(gè)芯片(以下稱為器件芯片)。

在被加工物的加工中所使用的切削裝置中，在使切削刀具切入至被加工物時(shí)，對(duì)切削刀具提供切削液。切削刀具在被提供了切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削加工。

在被加工物的切削加工中，會(huì)產(chǎn)生切削屑等污染物，當(dāng)污染物附著于被加工物時(shí)，會(huì)引起各種不良情況。例如當(dāng)污染物附著于被加工物的焊盤時(shí)，有時(shí)引起焊接不良。在被加工物為CMOS傳感器或CCD傳感器等圖像傳感器的情況下，當(dāng)污染物附著于傳感器時(shí)，會(huì)導(dǎo)致器件不良。

當(dāng)在切削加工之后對(duì)被加工物進(jìn)行干燥時(shí)，切削加工中附著于被加工物的污染物會(huì)發(fā)生粘固，之后即使實(shí)施清洗，也難以將污染物去除。因此，提出了對(duì)切削加工中的被加工物提供清洗液的切削裝置。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-231474號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開平6-97278號(hào)公報(bào)

但是，在這些切削裝置中，需要不僅提供用于被加工物的切削加工的切削液，還提供用于被加工物的清洗的清洗液。因此，會(huì)產(chǎn)生下述新的問題：提供至被加工物的液體的量增多，加工成本增大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于該問題而完成的，其目的在于提供切削刀具和安裝凸緣，抑制所使用的水量且防止污染物的粘固。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供切削刀具，其固定于切削裝置的主軸的前端，在被提供了切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削，其特征在于，該切削刀具包含：圓形基臺(tái)，其在中央形成有嵌合孔，并且在一個(gè)面?zhèn)刃纬捎休嗇S部；以及切刃，其形成在該圓形基臺(tái)的與該一個(gè)面相反的面?zhèn)鹊耐庵懿可希谠搱A形基臺(tái)上，沿著周向形成有切削液擋回部。

另外，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方式，提供安裝凸緣，其將切削刀具固定于切削裝置的主軸的前端，該切削刀具在被提供了切削液的狀態(tài)下對(duì)被加工物進(jìn)行切削，其特征在于，該安裝凸緣具有安裝凸緣主體和固定螺母，其中，該安裝凸緣主體具有輪轂部和凸緣部，所述輪轂部貫穿插入至切削刀具的嵌合孔，并在前端形成有外螺紋，所述凸緣部從該輪轂部朝徑向突出，并具有對(duì)該切削刀具進(jìn)行支承的支承面，該固定螺母與該凸緣部一起對(duì)該切削刀具進(jìn)行夾持而固定，在該固定螺母的內(nèi)周上形成有與該輪轂部的該外螺紋螺合的內(nèi)螺紋，在該凸緣部上，在該支承面的背面?zhèn)妊刂芟蛐纬捎星邢饕簱趸夭俊?/p>

另外，在本發(fā)明的該另一個(gè)方式中，也可以是，該切削刀具為圓板狀，該安裝凸緣還具有前凸緣，該前凸緣具有與該安裝凸緣主體一起對(duì)該切削刀具進(jìn)行支承的支承面，該固定螺母通過將該前凸緣固定而借助該前凸緣與該凸緣部一起對(duì)該切削刀具進(jìn)行夾持，在該前凸緣上，在該支承面的背面?zhèn)妊刂芟蛐纬捎星邢饕簱趸夭俊?/p>