[發明專利]一種精密加載式壓電直線電機及其驅動方法有效
| 申請號: | 201810176952.7 | 申請日: | 2018-03-04 |
| 公開(公告)號: | CN108322087B | 公開(公告)日: | 2019-08-13 |
| 發明(設計)人: | 程廷海;于洋;高琪;唐晚靜 | 申請(專利權)人: | 長春工業大學 |
| 主分類號: | H02N2/04 | 分類號: | H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 130012 吉林*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電驅動器 壓電直線電機 安裝螺釘 加載 精密 定位技術領域 精密光學儀器 半導體加工 定位精度高 運動副間隙 驅動 擋板 導軌組件 導向機構 定子組件 固定螺釘 精密驅動 精密運動 柔性鉸鏈 鎖緊螺釘 裝配方便 綜合調控 大行程 斜向力 螺紋 底座 陶瓷 制約 應用 | ||
1.一種精密加載式壓電直線電機,該壓電直線電機包括底座(1)、導軌組件(2)、安裝螺釘Ⅰ(3)、定子組件(4)、安裝螺釘Ⅱ(5)、導向機構(6)、擋板(7)、固定螺釘Ⅰ(8)、螺紋副(9)和鎖緊螺釘(10);所述導軌組件(2)通過安裝螺釘Ⅰ(3)和安裝螺孔Ⅰ(1-2)螺紋連接固定在底座(1)上;所述導向機構(6)置于底座(1)內部,與底座內表面(1-4)滑動接觸;所述定子組件(4)通過安裝螺釘Ⅱ(5)和安裝螺孔Ⅱ(6-3-1)螺紋連接固定在導向機構(6)上部;所述擋板(7)通過固定螺釘Ⅰ(8)和固定螺孔Ⅰ(1-5)螺紋連接固定在底座(1)側邊;所述螺紋副(9)通過膠粘放置在擋板(7)中心位置;所述導軌組件(2)包括定導軌(2-1)、沉頭孔Ⅰ(2-2)、滾柱保持架(2-3)和動導軌(2-4),所述滾柱保持架(2-3)放置于定導軌(2-1)和動導軌(2-4)之間;所述底座(1)設置有導軌組件安裝平面(1-1)和安裝螺孔Ⅰ(1-2),安裝螺釘Ⅰ(3)穿過沉頭孔Ⅰ(2-2)與安裝螺孔Ⅰ(1-2)螺紋連接,將導軌組件(2)安裝在導軌組件安裝平面(1-1)上部;所述底座(1)還設置有固定螺孔Ⅱ(1-3)、底座內表面(1-4)、固定螺孔Ⅰ(1-5)、矩形凹槽(1-6)和鎖緊螺孔(1-7);所述鎖緊螺孔(1-7)與鎖緊螺釘(10)螺紋連接;所述矩形凹槽(1-6)與導向機構(6)滑動接觸;所述底座(1)采用45號鋼材料;所述導向機構(6)包括導向軸(6-1)、彈簧(6-2)和導向塊(6-3);所述導向軸(6-1)一端的外螺紋與固定螺孔Ⅱ(1-3)螺紋連接,所述彈簧(6-2)套在導向軸(6-1)外側,放置在底座(1)與導向塊(6-3)之間;所述導向塊(6-3)設置有安裝螺孔Ⅱ(6-3-1)、盲孔(6-3-2)和導向塊側板(6-3-3),所述盲孔(6-3-2)與導向軸(6-1)間隙配合;所述導向塊側板(6-3-3)與矩形凹槽(1-6)滑動接觸;通過安裝螺孔Ⅱ(6-3-1)固定定子組件(4);所述定子組件(4)包括雙陶瓷折梁柔性鉸鏈(4-1)、壓電陶瓷Ⅰ(4-2)、壓電陶瓷Ⅱ(4-3)、墊片Ⅱ(4-4)、預緊螺釘(4-5)和墊片Ⅰ(4-6);所述壓電陶瓷Ⅰ(4-2)、墊片Ⅰ(4-6)、壓電陶瓷Ⅱ(4-3)和墊片Ⅱ(4-4)放置在雙陶瓷折梁柔性鉸鏈(4-1)內部,通過預緊螺釘(4-5)進行預緊;所述雙陶瓷折梁柔性鉸鏈(4-1)包括驅動足(4-1-1)、端部橫梁(4-1-2)、剛性折梁Ⅰ(4-1-3)、直圓型鉸鏈Ⅰ(4-1-4)、直圓型鉸鏈Ⅱ(4-1-5)、定子組件安裝孔(4-1-6)、剛性直梁(4-1-7)、直圓型鉸鏈Ⅲ(4-1-8)、剛性折梁Ⅱ(4-1-9)、直圓型鉸鏈Ⅳ(4-1-10)、直圓型鉸鏈Ⅴ(4-1-11)和預緊螺孔(4-1-12);所述直圓型鉸鏈Ⅰ(4-1-4)設置在剛性折梁Ⅰ(4-1-3)拐點處,所述直圓型鉸鏈Ⅱ(4-1-5)設置在剛性折梁Ⅰ(4-1-3)一端,直圓型鉸鏈Ⅰ(4-1-4)和直圓型鉸鏈Ⅱ(4-1-5)通過剛性折梁Ⅰ(4-1-3)剛性連接;所述直圓型鉸鏈Ⅲ(4-1-8)設置在剛性折梁Ⅱ(4-1-9)拐點處,所述圓型鉸鏈Ⅳ(4-1-10)設置在剛性折梁Ⅱ(4-1-9)一端,直圓型鉸鏈Ⅰ(4-1-4)和直圓型鉸鏈Ⅱ(4-1-5)通過剛性折梁Ⅰ(4-1-3)剛性連接;所述直圓型鉸鏈Ⅴ(4-1-11)設置在剛性直梁(4-1-7)一端;所述驅動足(4-1-1)與動導軌(2-4)線接觸;所述預緊螺孔(4-1-12)和預緊螺釘(4-5)螺紋連接,以固定壓電陶瓷Ⅰ(4-2)和壓電陶瓷Ⅱ(4-3);安裝螺釘Ⅱ(5)穿過定子組件安裝孔(4-1-6)與安裝螺孔Ⅱ(6-3-1)螺紋連接以固定定子組件(4)。
2.據權利要求1所述的一種精密加載式壓電直線電機,其特征在于:所述擋板(7)包括沉頭孔Ⅱ(7-1)和通孔(7-2);所述通孔(7-2)與螺紋副(9)的螺母基體(9-1)膠粘連接,固定螺釘Ⅰ(8)通過沉頭孔Ⅱ(7-1)與固定螺孔Ⅰ(1-5)螺紋連接。
3.據權利要求1所述的一種精密加載式壓電直線電機,其特征在于:所述螺紋副(9)包括螺母基體(9-1)、螺桿(9-2)和解耦球頭(9-3),所述螺母基體(9-1)和螺桿(9-2)螺紋連接,螺母基體(9-1)膠粘于擋板(7)中心位置;所述解耦球頭(9-3)與導向塊(6-3)點接觸,通過解耦球頭(9-3)將螺桿(9-2)的螺旋運動轉換為直線進給運動。
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