[發明專利]壓電傳感器

有效

• 申請號: 201810176129.6
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN108419189B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 陳振頤;張朝森;蔣鎧宇;彭瑞欽
• 申請（專利權）人: 美律電子(深圳)有限公司
• 主分類號: H04R17/00
• 分類號: H04R17/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 盧曉霞

1.一種壓電傳感器，包括：

基材，具有腔室；

壓電層，配置于所述基材上且包括：

位移區，位于所述腔室上方,所述位移區的第一面積介于所述腔室的第二面積的1/2至1/9之間；

多個感測區，環繞連接于所述位移區的外緣且位于所述腔室上方；

多個縫隙，分別成形于所述多個感測區中任兩相鄰的感測區之間，各所述縫隙連通所述腔室；

多個上電極，分別配置于各所述感測區的頂面；以及

多個下電極，分別配置于各所述感測區的底面；以及

所述壓電傳感器還包括：加強結構，配置于所述位移區的底部，

其中，當聲波傳遞至所述壓電層時，推動所述位移區與所述加強結構相對于所述基材產生位移，并使所述多個感測區產生變形以產生電信號，且所述多個縫隙可平衡所述腔室內的壓力；

所述位移區以及所述多個感測區共同覆蓋所述腔室。

2.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，還包括彈性層，配置于所述基材與所述壓電層之間，且附著于所述位移區及所述多個感測區，所述加強結構成形于所述彈性層上且對應所述位移區的所述底部。

3.根據權利要求2所述的壓電傳感器，其特征在于，所述彈性層具有多個穿孔，各所述穿孔連通相應的各所述縫隙，以使各所述縫隙連通所述腔室。

4.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述腔室的形狀為矩形，各所述縫隙的長度不大于所述腔室的對角長度的三分之一。

5.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述腔室的形狀為矩形。

6.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述位移區及所述加強結構位于所述腔室的中央處，所述腔室的內緣與所述位移區的所述外緣之間配置各所述感測區。

7.根據權利要求6所述壓電傳感器，其特征在于，各所述感測區是朝向所述腔室的所述內緣而寬度漸增的梯形梁。

8.根據權利要求7所述的壓電傳感器，其特征在于，各所述上電極與各所述下電極均為對應各所述感測區設置的梯形電極。

9.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，各所述上電極的面積小于各所述下電極的面積。

10.根據權利要求1或2所述的壓電傳感器，其特征在于，所述加強結構包括多個延伸于所述腔室內的肋條。

11.根據權利要求1或2所述的壓電傳感器，其特征在于，所述加強結構包括延伸于所述腔室內的塊體。

12.根據權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述腔室、所述位移區及所述加強結構的形狀為多邊形。