[發明專利]噴嘴清理裝置及涂布機有效
| 申請號: | 201810174506.2 | 申請日: | 2018-03-01 |
| 公開(公告)號: | CN108144779B | 公開(公告)日: | 2021-03-02 |
| 發明(設計)人: | 涂樂志 | 申請(專利權)人: | TCL華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | B05B15/50 | 分類號: | B05B15/50;B05C5/02 |
| 代理公司: | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴嘴 清理 裝置 涂布機 | ||
本發明提供一種噴嘴清理裝置,用于清理噴涂裝置,包括兩個限位盤、刮片、支架、第一驅動部以及導軌;其中,所述支架滑動裝于所述導軌上;兩個所述限位盤相對設置于所述支架上且兩個所述限位盤之間形成一狹縫區域,所述刮片位于所述狹縫區域內,兩個所述限位盤的盤面與所述刮片的表面抵持,且所述刮片的周緣正對所述噴嘴;所述第一驅動部位于所述支架上且與兩個所述限位盤連接,所述第一驅動部用于驅動所述限位盤旋轉使所述刮片對所述噴嘴進行刮拭。本發明所述噴嘴清理裝置可在生產中實時刮噴嘴,有效防止噴嘴內光阻凝結,減少破膜現象。本發明還提供一種涂布機,包括上述噴嘴清理裝置、噴嘴和承載臺,所述噴嘴清理裝置位于所述噴嘴下方。
技術領域
本發明涉及顯示屏制造技術領域,特別涉及一種噴嘴清理裝置及涂布機。
背景技術
在TFT-LCD制程中,光阻涂布是黃光制程中非常重要的制程。目前的光阻涂布大多采用涂布速度快、精度高并且膜厚均勻的狹縫涂布機。但是在生產過程中,長時間作業涂布或者光阻停線、開線和換線時,由于狹縫涂布機的噴嘴內光阻凝結,極易導致涂布破膜,產生光阻膜層不均勻的現象。為改善上述問題,時常需要對狹縫涂布機進行人工刮噴嘴操作,不僅降低了生產效率,還造成了大量的人工成本浪費。
發明內容
本發明的目的在于提供一種噴嘴清理裝置,利用刮片在噴嘴邊緣至內部做旋轉運動來對噴嘴進行實時清理,防止涂布破膜和光阻膜層不均勻的現象,提高生產效率。
本發明還提供一種涂布機。
本發明所述噴嘴清理裝置,包括兩個限位盤、刮片、支架、第一驅動部以及導軌;其中,所述支架滑動裝于所述導軌上;兩個所述限位盤相對設置于所述支架上且兩個所述限位盤之間形成一狹縫區域,所述刮片位于所述狹縫區域內,兩個所述限位盤的盤面與所述刮片的表面抵持,且所述刮片的周緣正對所述噴嘴;所述第一驅動部位于所述支架上且與兩個所述限位盤連接,所述第一驅動部用于驅動所述限位盤旋轉使所述刮片對所述噴嘴進行刮拭。
其中,所述噴嘴清理裝置包括第一清洗槽,所述第一清洗槽位于所述導軌上且正對所述刮片,用于對所述刮片進行清洗。
其中,每一所述限位盤包括外層圓盤、中層圓盤和內層圓盤,所述外層圓盤、所述中層圓盤和所述內層圓盤一體成型,兩個所述限位盤的所述外層圓盤、所述中層圓盤和所述內層圓盤的周緣之間形成一個固定區域,所述固定區域形狀與所述噴嘴形狀契合,用于固定所述限位盤。
其中,所述刮片為橢圓形刮片,所述刮片的短軸與所述內層圓盤的直徑相同,所述刮片的長軸大于所述短軸3cm~8cm。
其中,所述噴嘴清理裝置包括第二驅動部,所述第二驅動部位于所述支架或所述導軌上,用于驅動所述支架在所述導軌上滑動。
其中,所述限位盤由聚氯乙烯或哈式金屬制成。
其中,所述刮片由聚氯乙烯制成。
本發明所述涂布機,包括上述的噴嘴清理裝置、噴嘴和承載玻璃基板的承載臺,所述噴嘴清理裝置位于所述噴嘴下方。
其中,所述涂布機包括刮片裝載裝置,所述刮片裝載裝置包括刮片盒、刮片盒支架和阻擋座,所述阻擋座位于所述導軌上且正對所述限位盤,所述刮片盒支架位于所述限位盤背離所述阻擋座的一側且所述刮片盒支架上設有一正對所述限位盤的通孔,所述刮片盒位于所述刮片盒支架背離所述限位盤的表面上且可相對所述刮片盒支架滑動,所述刮片盒包括多個容納有刮片的間隔腔,每一所述間隔腔朝向所述刮片盒支架的表面設有縫隙,所述縫隙用于使所述間隔腔中的刮片落入所述通孔中。
其中,所述涂布機包括刮片卸載裝置,所述刮片卸載裝置包括噴洗器和第二清洗槽,所述噴洗器與所述第二清洗槽相對設置,所述第二清洗槽位于所述導軌上且正對所述限位盤,所述噴洗器位于所述限位盤背離所述第二清洗槽的一側且正對所述限位盤。
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