[發明專利]夾持裝置及包括其的掩模組件制造裝置

有效

• 申請號: 201810171097.0
• 申請日: 2018-03-01
• 公開（公告）號: CN109423601B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 金明圭;鄭京勳
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.夾持裝置，包括：

夾持單元；以及

拉伸單元，所述拉伸單元使所述夾持單元移動，

其中，所述夾持單元包括：

基礎臺；

第一驅動臺和第二驅動臺，所述第一驅動臺和所述第二驅動臺彼此相隔開地布置在所述基礎臺上；以及

第一指部和第二指部，所述第一指部布置在所述第一驅動臺上，且所述第二指部布置在所述第二驅動臺上，

其中，所述第一驅動臺和所述第二驅動臺被配置成分別在選自x軸方向、y軸方向和z軸方向中的任意一個方向上進行移動，或者將選自在所述y軸方向上延伸的第一旋轉軸線、在所述x軸方向上延伸的第二旋轉軸線和在所述z軸方向上延伸的第三旋轉軸線中的任意一個旋轉軸線作為軸線進行旋轉，

其中，所述拉伸單元被配置成使所述夾持單元在所述x軸方向或所述y軸方向上移動，以及

其中，當所述拉伸單元使所述夾持單元在所述x軸方向或所述y軸方向上移動時，所述第一指部和所述第二指部被配置成同時在所述x軸方向或所述y軸方向上移動。

2.如權利要求1所述的夾持裝置，其中，所述第一驅動臺的最小移動單位與所述拉伸單元的最小移動單位彼此不同。

3.如權利要求2所述的夾持裝置，其中，所述第一驅動臺的最小移動單位為0.1至0.2μm，并且所述拉伸單元的最小移動單位為1μm。

4.如權利要求1所述的夾持裝置，其中，所述拉伸單元包括：

第一電機，所述第一電機提供用于使所述夾持單元在所述x軸方向上移動的動力；

驅動桿，所述驅動桿傳遞由所述第一電機提供的動力；

第一支承臺，所述第一支承臺與所述驅動桿連接以在所述x軸方向上進行移動；

第二電機，所述第二電機提供用于使所述夾持單元在所述y軸方向上移動的動力；以及

第二支承臺，所述第二支承臺接收來自所述第二電機的動力以在所述y軸方向上進行移動。

5.如權利要求1所述的夾持裝置，還包括：

第三驅動臺，所述第三驅動臺布置在所述基礎臺上；以及

第三指部，所述第三指部布置在所述第三驅動臺上。

6.如權利要求1所述的夾持裝置，還包括：

第一側面驅動部，所述第一側面驅動部布置在所述第一指部的一側。

7.如權利要求6所述的夾持裝置，其中，所述第一側面驅動部包括壓電材料。

8.如權利要求7所述的夾持裝置，其中，所述第一側面驅動部被配置成通過膨脹或收縮來使所述第一指部在所述y軸方向上移動。