[發明專利]一種基于LCOS技術的LED曝光機

在審

• 申請號: 201810170337.5
• 申請日: 2018-03-01
• 公開（公告）號: CN110221524A
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 孫雷;張洪波;張婧姣
• 申請（專利權）人: 聯士光電（深圳）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，包括LED光源（1）、透鏡組（2）、積分棒（3）、透鏡組（4）、偏振分光元件PBS（5）、LCOS（6）、投影系統（7）和待曝光工件（8），其中LED光源（1）發出的光通過透鏡組（2）會聚進入積分棒（3），經積分棒（3）勻光后再通過透鏡組（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源發出的光中p型偏振光通過偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光為s型偏振光，經偏振分光元件PBS（5）反射后進入投影系統（7），通過投影系統（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，為縮小曝光機整體體積，本發明所述曝光機可在光路上任意位置加入一個或多個反射鏡或棱鏡，對光路進行折疊。

2.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述LED光源（1）的波長范圍為350~470nm。

3.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述透鏡組（2）用于對LED光源（1）發出的光進行會聚，透鏡組由N（N≥2）片透鏡組成，透鏡可以是球面透鏡，也可以是非球面透鏡，透鏡通光孔徑范圍為10~120mm。

4.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述積分棒（3）用于對LED光源（1）發出的光進行勻光，并整形成和LCOS（6）長寬比相匹配的光斑。

5.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述透鏡組（4）成像到LCOS（6）上，透鏡組由N（N≥2）片透鏡組成，透鏡可以是球面透鏡，也可以是非球面透鏡，透鏡通光孔徑范圍為10~120mm。

6.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述偏振分光元件PBS（5）可以是偏振分光棱鏡也可以是偏振分光片，偏振分光元件PBS（5）用于分光，對p型偏振光透過，對s型偏振光反射，s型偏振光與p型偏振光成90度角。

7.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述LCOS（6）即Liquid Crystal on Silicon硅基液晶，是一種反射元件，使入射p型偏振光轉變成s型偏振光，同時通過控制LCOS（6）上每個像素的開關形成所需圖形，LCOS（6）反射后的光線作為曝光圖案的發生源，所述LCOS（6）具有大于等于1920 x 1080的分辨率，目前優選4096 x 2400分辨率。

8.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述投影系統（7）用于把光投影到待曝光工件（8），投影系統由透鏡組組成，可以是放大系統，也可以是縮小系統。

9.如權利要求1所述的一種基于LCOS技術的LED曝光機，其特征在于，所述待曝光工件（8）的表面是一平面，和光路垂直。