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[發(fā)明專利]一種高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810170086.0 申請日: 2018-03-01
公開(公告)號: CN108354630A 公開(公告)日: 2018-08-03
發(fā)明(設(shè)計)人: 費(fèi)春龍;劉治勇;林鵬飛;李迪;楊銀堂 申請(專利權(quán))人: 西安電子科技大學(xué);陜西博縱電子科技有限公司
主分類號: A61B8/12 分類號: A61B8/12
代理公司: 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340 代理人: 陳新勝
地址: 710071*** 國省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 壓電陣元 環(huán)氧樹脂 環(huán)氧樹脂層 陣元 超聲 換能 開槽 內(nèi)窺 填充 切割 環(huán)氧樹脂固化 背襯層表面 導(dǎo)線接觸 固定導(dǎo)線 均勻包裹 工藝流程 初始陣 換能器 良品率 匹配層 切割縫 槽深 覆蓋 環(huán)氧 切槽 涂覆 固化 制備 制作 裝配
【權(quán)利要求書】:

1.一種高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于,包括如下操作:

S1:制備初始陣元;

S2:將初始陣元切割成各個相互分離的陣元塊,采用環(huán)氧樹脂對陣元塊之間的切割縫進(jìn)行填充并對陣元塊的匹配層表面進(jìn)行覆蓋,待環(huán)氧樹脂固化后再在陣元塊的背襯層表面涂覆環(huán)氧樹脂形成下環(huán)氧樹脂層,下環(huán)氧樹脂層固化后,在下環(huán)氧樹脂層的表面進(jìn)行開槽,開槽的槽深大于下環(huán)氧樹脂層的厚度,然后切割得到各個壓電陣元,壓電陣元是外表面被環(huán)氧樹脂均勻包裹陣元塊,開槽在壓電陣元的下表面上形成長條形的卡槽,卡槽的中心線與陣元塊的中心處于同一鉛垂面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:初始陣元包括壓電材料,壓電材料的上、下表面分別設(shè)置上電極和下電極,上電極上設(shè)置匹配層,下電極上設(shè)置背襯層,壓電材料為壓電單晶材料PMN-PT構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:背襯層為導(dǎo)電材料E-solder 3022構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:匹配層包括上電極上設(shè)置的第一匹配層以及第一匹配層上設(shè)置的第二匹配層,第一匹配層由摻有金屬顆粒的環(huán)氧樹脂構(gòu)成,第二匹配層由高分子聚合物構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:陣元塊的大小為0.4mm×0.4mm,相鄰陣元塊之間的間距為0.1mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:壓電陣元上環(huán)氧樹脂的厚度為0.025m。

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