[發(fā)明專利]一種高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810170086.0 | 申請日: | 2018-03-01 |
| 公開(公告)號: | CN108354630A | 公開(公告)日: | 2018-08-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 費(fèi)春龍;劉治勇;林鵬飛;李迪;楊銀堂 | 申請(專利權(quán))人: | 西安電子科技大學(xué);陜西博縱電子科技有限公司 |
| 主分類號: | A61B8/12 | 分類號: | A61B8/12 |
| 代理公司: | 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340 | 代理人: | 陳新勝 |
| 地址: | 710071*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓電陣元 環(huán)氧樹脂 環(huán)氧樹脂層 陣元 超聲 換能 開槽 內(nèi)窺 填充 切割 環(huán)氧樹脂固化 背襯層表面 導(dǎo)線接觸 固定導(dǎo)線 均勻包裹 工藝流程 初始陣 換能器 良品率 匹配層 切割縫 槽深 覆蓋 環(huán)氧 切槽 涂覆 固化 制備 制作 裝配 | ||
1.一種高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于,包括如下操作:
S1:制備初始陣元;
S2:將初始陣元切割成各個相互分離的陣元塊,采用環(huán)氧樹脂對陣元塊之間的切割縫進(jìn)行填充并對陣元塊的匹配層表面進(jìn)行覆蓋,待環(huán)氧樹脂固化后再在陣元塊的背襯層表面涂覆環(huán)氧樹脂形成下環(huán)氧樹脂層,下環(huán)氧樹脂層固化后,在下環(huán)氧樹脂層的表面進(jìn)行開槽,開槽的槽深大于下環(huán)氧樹脂層的厚度,然后切割得到各個壓電陣元,壓電陣元是外表面被環(huán)氧樹脂均勻包裹陣元塊,開槽在壓電陣元的下表面上形成長條形的卡槽,卡槽的中心線與陣元塊的中心處于同一鉛垂面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:初始陣元包括壓電材料,壓電材料的上、下表面分別設(shè)置上電極和下電極,上電極上設(shè)置匹配層,下電極上設(shè)置背襯層,壓電材料為壓電單晶材料PMN-PT構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:背襯層為導(dǎo)電材料E-solder 3022構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:匹配層包括上電極上設(shè)置的第一匹配層以及第一匹配層上設(shè)置的第二匹配層,第一匹配層由摻有金屬顆粒的環(huán)氧樹脂構(gòu)成,第二匹配層由高分子聚合物構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:陣元塊的大小為0.4mm×0.4mm,相鄰陣元塊之間的間距為0.1mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻內(nèi)窺超聲換能器用壓電陣元的制作方法,其特征在于:壓電陣元上環(huán)氧樹脂的厚度為0.025m。
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