[發(fā)明專利]一種氣體在線檢測裝置和方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810168163.9 | 申請日： | 2018-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN108398500A | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張杰;涂維峰;李鵬;韓一帆 | 申請（專利權(quán)）人： | 鄭州大學(xué) |
| 主分類號： | G01N30/02 | 分類號： | G01N30/02;G01N30/06 |
| 代理公司： | 北京康盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11331 | 代理人： | 涂鳳霞 |
| 地址： | 450001 河南省鄭*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 在線檢測裝置 反應(yīng)器 氣體循環(huán)回路 預(yù)定氣體 檢測 氣體供給單元 抽真空單元 在線檢測 循環(huán)泵 抽真空處理 管路連接 快速檢測 依次連接 | ||
1.一種氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述氣體在線檢測裝置用于在線檢測反應(yīng)器內(nèi)預(yù)定氣體的種類和/或濃度，所述氣體在線檢測裝置包括通過管路連接的反應(yīng)器、循環(huán)泵、檢測單元、氣體供給單元和抽真空單元，其中，檢測單元，用于檢測預(yù)定氣體的種類和/或濃度，并且，檢測單元、反應(yīng)器和循環(huán)泵依次連接并形成氣體循環(huán)回路；
抽真空單元，用于在反應(yīng)之前對所述氣體循環(huán)回路進(jìn)行抽真空處理；
氣體供給單元，用于向所述氣體循環(huán)回路提供反應(yīng)氣體和/或保護(hù)氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述氣體在線檢測裝置還包括第一三相閥、第一開關(guān)閥和第二開關(guān)閥，其中，
第一三相閥的第一出入口與檢測單元的出氣口連接，第一三相閥的第二出入口與反應(yīng)器的進(jìn)氣口連接，第一三相閥的第三出入口與抽真空單元和氣體供給單元連接；
第一開關(guān)閥設(shè)置在第一三相閥的第三出入口與抽真空單元之間的管路上；
第二開關(guān)閥設(shè)置在第一三相閥的第三出入口與氣體供給單元之間的管路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述氣體在線檢測裝置還包括第二三相閥和第三開關(guān)閥，所述第二三相閥的第一出入口與所述反應(yīng)器的出氣口連接，所述第二三相閥的第二出入口與所述循環(huán)泵連接，所述第三開關(guān)閥設(shè)置在所述第二三相閥的第三出入口處或設(shè)置在與所述第二三相閥的第三出入口連接的排出管路上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述氣體在線檢測裝置還包括數(shù)據(jù)處理單元，所述數(shù)據(jù)處理單元用于將在反應(yīng)過程中由所述檢測單元檢測到的所述預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的第一曲線減去在反應(yīng)之前由所述檢測單元檢測到的所述預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的第二曲線以得到在反應(yīng)過程中所述預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的曲線。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述預(yù)定氣體為所述反應(yīng)氣體或所述反應(yīng)過程中生成的氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述檢測單元包括微型氣相色譜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體在線檢測裝置，其特征在于，所述檢測單元還用于檢測壓力。
8.一種氣體在線檢測方法，其特征在于，所述氣體在線檢測方法采用如權(quán)利要求1至7中任意一項所述的氣體在線檢測裝置對反應(yīng)器內(nèi)的預(yù)定氣體進(jìn)行檢測，所述氣體在線檢測方法包括：
A、利用所述抽真空單元對所述氣體循環(huán)回路進(jìn)行抽真空處理；
B、利用所述氣體供給單元向所述氣體循環(huán)回路通入反應(yīng)氣體和/或保護(hù)氣體；
C、反復(fù)進(jìn)行所述步驟A和所述步驟B，直到所述氣體循環(huán)回路中的初始?xì)怏w被全部或基本全部置換；
D、啟動所述循環(huán)泵，使得所述反應(yīng)氣體和/或保護(hù)氣體在所述氣體循環(huán)回路中循環(huán)，利用所述檢測單元檢測在反應(yīng)過程中所述預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的第一曲線和/或所述預(yù)定氣體的種類。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體在線檢測方法，其特征在于，所述氣體在線檢測方法還包括：
在所述步驟D之前，在所述氣體循環(huán)回路處于真空狀態(tài)的條件下，靜置，并通過所述檢測單元檢測所述氣體循環(huán)回路中預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的第二曲線；
將所述第一曲線減去所述第二曲線，得到在所述反應(yīng)過程中所述預(yù)定氣體的濃度隨時間變化的曲線。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體在線檢測方法，其特征在于，所述氣體在線檢測方法還包括：在所述步驟B中，當(dāng)所述反應(yīng)氣體充滿所述氣體循環(huán)回路之后，排出多余氣體以保持所述氣體循環(huán)回路的壓力正常。
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