[發明專利]磁控管驅動機構、磁控源和磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201810167808.7
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN110205592B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 魏景峰;佘清;趙夢欣;侯玨
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

1.一種磁控管驅動機構，其特征在于，包括：

導軌；

移動件，設置在所述導軌上且能沿所述導軌往復移動，所述移動件用于與磁控管連接；

升降組件，與所述移動件連接，所述升降組件能夠作往復移動，以帶動所述移動件在所述導軌上移動，以使得所述磁控管對應于靶材的不同區域；所述升降組件包括升降軸和第一連桿，所述移動件包括第一滑塊，所述第一連桿的一端與所述升降軸可轉動連接，所述第一連桿的另一端與所述第一滑塊可轉動連接；并且，所述升降軸作往復移動，以通過所述第一連桿帶動所述第一滑塊沿所述導軌移動，以使得所述磁控管對應于靶材的不同區域；

旋轉組件，與所述導軌連接，所述旋轉組件能夠轉動，以驅動對應于靶材的不同區域處的磁控管繞靶材的中心軸轉動。

2.根據權利要求1所述的磁控管驅動機構，其特征在于，所述旋轉組件包括：

固定件，固定設置在所述導軌上；

旋轉軸，與所述固定件連接；并且，

所述旋轉軸帶動所述固定件和所述導軌一起轉動，以使得對應于靶材不同區域處的磁控管繞靶材的中心軸轉動。

3.根據權利要求2所述的磁控管驅動機構，其特征在于，所述旋轉軸與所述靶材的中心軸同軸設置。

4.根據權利要求2所述的磁控管驅動機構，其特征在于，所述旋轉軸上設置有貫穿其軸線方向的通孔，所述升降軸安裝在所述通孔中，且所述升降軸能沿所述通孔作往復移動。

5.根據權利要求2所述的磁控管驅動機構，其特征在于，

所述固定件包括；

固定部，與所述旋轉軸固定連接；

第一安裝部，設置在所述固定部上，所述第一安裝部上設置有貫穿其厚度的至少一個第一安裝孔；

第二安裝部，設置在所述固定部上，且與所述第一安裝部相對間隔設置，所述第二安裝部上設置有貫穿其厚度的至少一個第二安裝孔，所述第二安裝孔與其所對應的所述第一安裝孔同軸設置；

所述導軌穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔，以與所述第一安裝部和所述第二安裝部固定連接。

6.根據權利要求5所述的磁控管驅動機構，其特征在于，

所述第一安裝部上間隔設置有兩個所述第一安裝孔；

所述第二安裝部上間隔設置有兩個所述第二安裝孔；

所述導軌包括：

第一導軌，穿過相對應的其中一個所述第一安裝孔和所述第二安裝孔；

第二導軌，與所述第一導軌相對間隔設置，所述第二導軌穿過相對應的另外一個所述第一安裝孔和所述第二安裝孔；

所述第一滑塊穿設在所述第一導軌和所述第二導軌中。

7.根據權利要求1至6中任意一項所述的磁控管驅動機構，其特征在于，所述導軌上設置有第一限位件和第二限位件，當所述旋轉組件包括第一安裝部和第二安裝部時，所述第一安裝部和所述第二安裝部形成所述第二限位件；

所述移動件與所述第一限位件抵接時，所述磁控管對應于靶材的邊緣區域，所述移動件與所述第二限位件抵接時，所述磁控管對應于靶材的中央區域。

8.根據權利要求1至6中任意一項所述的磁控管驅動機構，其特征在于，所述移動件包括第二滑塊，所述升降組件還包括第二連桿；

所述第二連桿的一端與所述升降軸可轉動連接，所述第二連桿的另一端與所述第二滑塊可轉動連接，所述第二滑塊固定設置有配重。

9.一種磁控源，其特征在于，包括：

靶材；

磁控管，所述磁控管位于所述靶材上方，且固定在移動件上；

磁控管驅動機構，所述磁控管驅動機構為根據權利要求1-8任意一項所述的磁控管驅動機構。

10.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括權利要求9所述的磁控源。