[發明專利]高性能觸摸傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201810165935.3
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN108509096B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 崔镕錫;李在顯
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044;G06V40/13
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 楊黎峰;鐘錦舜

1.一種高性能觸摸傳感器，包括：

基板；

形成在所述基板上的感測電極部；

形成在所述感測電極部上的絕緣層；

形成在所述基板和所述感測電極部之間的第一保護層；和

形成為覆蓋所述感測電極部和所述絕緣層的第二保護層，

其中包括所述感測電極部的單位感測單元的間距在50μm至70μm的范圍內，

其中所述絕緣層的介電常數在6至10的范圍內，

其中所述絕緣層具有1μm至2μm的厚度，

其中所述單位感測單元具有2000μm²至4000μm²的面積，并且在所述單位感測單元中包括的所述感測電極部具有2300μm²至2600μm²的面積，并且

其中所述絕緣層的材料是丙烯酸類樹脂。

2.根據權利要求1所述的高性能觸摸傳感器，其中所述絕緣層具有1.5至2.0的折射率。

3.根據權利要求1所述的高性能觸摸傳感器，其中所述基板包括軟質材料或硬質材料。

4.根據權利要求1所述的高性能觸摸傳感器，還包括形成在所述基板與所述感測電極部之間的隔離層，并且

其中所述基板包括柔性基板。

5.根據權利要求1所述的高性能觸摸傳感器，其中所述單位感測單元具有8fF至15fF的互電容。

6.一種制造高性能觸摸傳感器的方法，所述方法包括：

在載體基板上形成隔離層；

在所述隔離層上形成第一保護層；

在所述第一保護層上形成感測電極部；

在所述感測電極部上形成絕緣層；

形成覆蓋所述感測電極部和所述絕緣層的第二保護層；

分離所述載體基板；和

在由于分離所述載體基板而暴露的所述隔離層上接合具有柔性的基膜，

其中包括所述感測電極部的單位感測單元的間距在50μm至70μm的范圍內，

其中所述絕緣層的介電常數在6至10的范圍內，

其中所述絕緣層具有1μm至2μm的厚度，

其中所述單位感測單元具有2000μm²至4000μm²的面積，并且在所述單位感測單元中包括的所述感測電極部具有2300μm²至2600μm²的面積，并且

其中所述絕緣層的材料是丙烯酸類樹脂。

7.根據權利要求6所述的方法，其中所述絕緣層具有1.5至2.0的折射率。

8.根據權利要求6所述的方法，其中所述載體基板包括硬質材料。

9.根據權利要求6所述的方法，其中所述第一保護層被形成為覆蓋所述隔離層的側壁。

10.根據權利要求6所述的方法，其中所述單位感測單元具有8fF至15fF的互電容。