[發(fā)明專利]垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線及集成方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810165627.0 | 申請日: | 2018-02-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108400176B | 公開(公告)日: | 2020-01-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張治國 | 申請(專利權(quán))人: | 張治國 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0224 | 分類號(hào): | H01L31/0224;H01L31/0687;H01L31/18 |
| 代理公司: | 11315 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 吳家偉 |
| 地址: | 362000 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 二極管陣列 硅光伏器件 多結(jié) 隔離線 敏感區(qū) 電極引線 垂直 電極金屬層 最大固溶度 并聯(lián)連接 歐姆接觸 芯片隔離 電極 敷設(shè) 金屬電 縱向線 遮擋 摻雜 | ||
1.一種垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,其特征在于,包括:P區(qū)域和N區(qū)域,所述P區(qū)域和N區(qū)域形成PN相間的二極管陣列;所述PN相間的二極管陣列的縱向線陣列上設(shè)置有P型導(dǎo)電隔離線;所述P型導(dǎo)電隔離線通過摻雜形成;摻雜后形成的P型導(dǎo)電隔離線將芯片隔離成兩個(gè)區(qū)域,分別為敏感區(qū)和用于敷設(shè)電極的區(qū)域;
其中,所述縱向?yàn)榇怪庇谒鯬區(qū)域和N區(qū)域的平行排布的方向;P型導(dǎo)電隔離線把所有的P區(qū)域連接起來;
所述垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線還包括N+區(qū)和P型電極引線區(qū);所述N+區(qū)和P型電極引線區(qū)處覆蓋有銀鋁漿;在一個(gè)單元的器件中,覆蓋N+區(qū)的銀鋁漿是二極管負(fù)極,覆蓋所述P型導(dǎo)電隔離線一側(cè)的用于敷設(shè)電極的區(qū)域的銀鋁漿是二極管正極。
2.如權(quán)利要求1所述的垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,其特征在于,所述P區(qū)域?yàn)榘疾邸?/p>
3.一種垂直多結(jié)硅光伏器件的集成方法,其特征在于,所述垂直多結(jié)硅光伏器件包括如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述的垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,包括:
將硅片進(jìn)行備用處理;
將經(jīng)過備用處理的硅片依次在鍍膜機(jī)和燒結(jié)爐中進(jìn)行加熱處理,并進(jìn)行清洗;
將清洗后的硅片放入熱遷移摻雜爐,無鋁表面溫度1000℃,溫度梯度100℃/cm;熱遷移摻雜時(shí)間2.5小時(shí),真空度3×10-4毫米汞柱;
將熱遷移摻雜后的硅片作成形處理。
4.如權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述將硅片進(jìn)行備用處理的步驟具體為:
取厚800-1000μm,電阻率30-60Ωcm經(jīng)過磨平工藝后的N型硅片備用;在砂輪劃片機(jī)的電腦屏幕上設(shè)計(jì)出預(yù)設(shè)的圖形;并標(biāo)識(shí)出需要加工的區(qū)域;選用20μm厚砂輪片;按照預(yù)設(shè)的圖形加工成20μm寬,40μm深的槽;將劃好圖形的硅片用自來水沖洗,用去離子水超聲清洗5分鐘兩次,用無水乙醇超聲清洗5分鐘兩次,用丙酮超聲清洗5分鐘,再用無水乙醇超聲清洗5分鐘,浸泡在乙醇溶液內(nèi)備用。
5.如權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述將經(jīng)過備用處理的硅片依次在鍍膜機(jī)和燒結(jié)爐中進(jìn)行加熱處理,并進(jìn)行清洗的步驟具體為:
將經(jīng)過備用處理的硅片放入鍍膜機(jī),槽面向下蒸鍍高純鋁;硅片表面溫度350℃;鋁膜厚度20μm;待硅片溫度降到低于100℃時(shí)取出硅片;
將所述硅片放入燒結(jié)爐中572℃,11分鐘后取出硅片;
用平坦的油石磨去槽外的鋁和2微米的硅;
用自來水沖洗后再用去離子水、無水乙醇、丙酮、無水乙醇分別超聲清洗硅片2次10分鐘,和一次5分鐘、5分鐘和5分鐘。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于張治國,未經(jīng)張治國許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810165627.0/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





