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[發(fā)明專利]垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線及集成方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810165627.0 申請日: 2018-02-28
公開(公告)號(hào): CN108400176B 公開(公告)日: 2020-01-17
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張治國 申請(專利權(quán))人: 張治國
主分類號(hào): H01L31/0224 分類號(hào): H01L31/0224;H01L31/0687;H01L31/18
代理公司: 11315 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 吳家偉
地址: 362000 福*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 二極管陣列 硅光伏器件 多結(jié) 隔離線 敏感區(qū) 電極引線 垂直 電極金屬層 最大固溶度 并聯(lián)連接 歐姆接觸 芯片隔離 電極 敷設(shè) 金屬電 縱向線 遮擋 摻雜
【權(quán)利要求書】:

1.一種垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,其特征在于,包括:P區(qū)域和N區(qū)域,所述P區(qū)域和N區(qū)域形成PN相間的二極管陣列;所述PN相間的二極管陣列的縱向線陣列上設(shè)置有P型導(dǎo)電隔離線;所述P型導(dǎo)電隔離線通過摻雜形成;摻雜后形成的P型導(dǎo)電隔離線將芯片隔離成兩個(gè)區(qū)域,分別為敏感區(qū)和用于敷設(shè)電極的區(qū)域;

其中,所述縱向?yàn)榇怪庇谒鯬區(qū)域和N區(qū)域的平行排布的方向;P型導(dǎo)電隔離線把所有的P區(qū)域連接起來;

所述垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線還包括N+區(qū)和P型電極引線區(qū);所述N+區(qū)和P型電極引線區(qū)處覆蓋有銀鋁漿;在一個(gè)單元的器件中,覆蓋N+區(qū)的銀鋁漿是二極管負(fù)極,覆蓋所述P型導(dǎo)電隔離線一側(cè)的用于敷設(shè)電極的區(qū)域的銀鋁漿是二極管正極。

2.如權(quán)利要求1所述的垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,其特征在于,所述P區(qū)域?yàn)榘疾邸?/p>

3.一種垂直多結(jié)硅光伏器件的集成方法,其特征在于,所述垂直多結(jié)硅光伏器件包括如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述的垂直多結(jié)硅光伏器件的電極引線,包括:

將硅片進(jìn)行備用處理;

將經(jīng)過備用處理的硅片依次在鍍膜機(jī)和燒結(jié)爐中進(jìn)行加熱處理,并進(jìn)行清洗;

將清洗后的硅片放入熱遷移摻雜爐,無鋁表面溫度1000℃,溫度梯度100℃/cm;熱遷移摻雜時(shí)間2.5小時(shí),真空度3×10-4毫米汞柱;

將熱遷移摻雜后的硅片作成形處理。

4.如權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述將硅片進(jìn)行備用處理的步驟具體為:

取厚800-1000μm,電阻率30-60Ωcm經(jīng)過磨平工藝后的N型硅片備用;在砂輪劃片機(jī)的電腦屏幕上設(shè)計(jì)出預(yù)設(shè)的圖形;并標(biāo)識(shí)出需要加工的區(qū)域;選用20μm厚砂輪片;按照預(yù)設(shè)的圖形加工成20μm寬,40μm深的槽;將劃好圖形的硅片用自來水沖洗,用去離子水超聲清洗5分鐘兩次,用無水乙醇超聲清洗5分鐘兩次,用丙酮超聲清洗5分鐘,再用無水乙醇超聲清洗5分鐘,浸泡在乙醇溶液內(nèi)備用。

5.如權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述將經(jīng)過備用處理的硅片依次在鍍膜機(jī)和燒結(jié)爐中進(jìn)行加熱處理,并進(jìn)行清洗的步驟具體為:

將經(jīng)過備用處理的硅片放入鍍膜機(jī),槽面向下蒸鍍高純鋁;硅片表面溫度350℃;鋁膜厚度20μm;待硅片溫度降到低于100℃時(shí)取出硅片;

將所述硅片放入燒結(jié)爐中572℃,11分鐘后取出硅片;

用平坦的油石磨去槽外的鋁和2微米的硅;

用自來水沖洗后再用去離子水、無水乙醇、丙酮、無水乙醇分別超聲清洗硅片2次10分鐘,和一次5分鐘、5分鐘和5分鐘。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

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