[發(fā)明專利]一種電子煙霧化芯片的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810165484.3 | 申請日： | 2018-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN108477675A | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李廷華;李壽波;朱東來;韓熠;陳永寬;吳俊;張霞;鞏效偉;洪鎏 | 申請（專利權(quán)）人： | 云南中煙工業(yè)有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | A24F47/00 | 分類號： | A24F47/00 |
| 代理公司： | 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590 | 代理人： | 楊兵 |
| 地址： | 650231 云*** | 國省代碼： | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 煙霧化 負性光刻膠 芯片 基底 壓電 叉指換能器 制備 安全健康 鍍覆金屬 感官品質(zhì) 曝光處理 信號接口 一致性好 電連接 高粘度 光照射 氣溶膠 掩膜板 粒徑 上旋 受光 霧化 煙油 薄膜 照射 增設(shè) 覆蓋 | ||
1.一種電子煙霧化芯片的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
①在壓電基底(1)上均勻旋涂一層負性光刻膠(5)，并將涂膠后的壓電基底放置于80～90℃條件下烘焙3～5分鐘；所述壓電基底(1)為片狀，所述壓電基底(1)為壓電單晶片、壓電陶瓷片、壓電聚合物片或壓電復(fù)合物片中的一種；
②將預(yù)置有叉指換能器圖樣的掩膜板(6)覆蓋在步驟①處理后的壓電基底上，采用波長為200～450nm的紫外光照射所述掩膜板(6)進行曝光處理；
③除去步驟②受光照射部分的負性光刻膠，然后放置于130～200℃條件下烘焙25～30分鐘；
④在步驟③處理后的壓電基底上鍍覆金屬薄膜(7)，所述金屬薄膜(7)為金、銀、銅或鋁薄膜中的一種；
⑤清洗步驟④處理后的壓電基底，將未被光照射部分的負性光刻膠(51)及附著其上的金屬薄膜除去，得到叉指換能器(2)；所得到的叉指換能器(2)為雙手手指交叉狀的多對條，條與條之間有間隔；
⑥將步驟⑤的叉指換能器(2)與壓電基底(1)電連接，并在所述壓電基底(1)外側(cè)增設(shè)信號接口(3)，即得到所述的電子煙霧化芯片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述壓電基底(1)為Y切X 128.68°方向的鈮酸鋰，其厚度為250nm～600nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述叉指換能器(2)相互交叉的條的對數(shù)為25～30對；所述條與條之間相互平行交叉重疊長度為0.5～3mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述叉指換能器(2)中所述條的寬度為a，相鄰兩根條的之間的間隔為b，a和b滿足如下公式：f＝vs/2(a+b)，其中vs為聲表面波在壓電基底表面上的傳播速度，f為激勵頻率；f滿足其中γ為煙油表面張力，ρ為煙油密度，d為所要求的煙油液滴霧化形成氣溶膠的粒徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟①之前還包括將壓電基底(1)依次用丙酮、乙醇和去離子水超聲清洗，并用氮氣進行風(fēng)干步驟。
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