[發明專利]生物檢測系統

在審

• 申請號: 201810163774.4
• 申請日: 2018-02-27
• 公開（公告）號: CN109211852A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 黃忠諤;陳圣文;何信呈;徐偉成;陳明
• 申請（專利權）人: 曦醫生技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G01N21/01;G01N33/48
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;謝瓊慧

1.一種生物檢測系統，適用于檢測包含數個目標生物粒子的液體樣本，所述生物檢測系統包含一個捕捉裝置，該捕捉裝置包括一個殼體結構、一個被設置于所述殼體結構上的輸入口、一個被設置于所述殼體結構上的輸出口、一個被容置于所述殼體結構內的單晶片、一層形成于所述單晶片上的作用層，其特征在于：

所述殼體結構包括

一個下殼體，具有

一個下主表面，以及

一個下貼合面，在一個橫向方向上相反于所述下主表面且具有一個下凹槽，所述下凹槽向下延伸而終止于一個內底面且包括一個被配置以容許所述液體樣本通過的上子凹槽以及一個下子凹槽；以及

一個上殼體，具有

一個頂主表面，以及

一個上貼合面，在所述橫向方向上相反于所述頂主表面且具有一個上凹槽，所述上凹槽朝所述頂主表面延伸而終止于一個內頂面且被配置以容許所述液體樣本通過；

所述輸入口被設置于所述下凹槽的上游且用于將所述液體樣本引入至所述下凹槽的上子凹槽內；

所述輸出口被設置于所述下凹槽的下游且在一個縱向方向上相反于所述輸入口；

所述單晶片被配置為配套地嵌入所述下子凹槽，且包括一個基板以及數個分散的納米尺寸的結構物，所述分散的納米尺寸的結構物在所述縱向方向上相間隔設置且每一個分散的納米尺寸的結構物是自所述基板向上延伸而終止于一頂端；以及

所述作用層形成于所述分散的納米尺寸的結構物中每一者的所述頂端且用于捕捉所述目標生物粒子。

2.根據權利要求1所述的生物檢測系統，其特征在于：所述分散的納米尺寸的結構物是通過一包括下列步驟的方法所形成，

步驟(a)，在所述基板上提供一層可蝕刻層；

步驟(b)，遮蔽所述可蝕刻層上的數個區域，所述區域中的每一者對應于所述分散的納米尺寸的結構物中的每一者的所述頂端；以及

步驟(c)，朝著所述基板向下蝕刻所述可蝕刻層的數個非遮蔽區域，俾以形成所述分散的納米尺寸的結構物，

其中，所述步驟(b)包括子步驟如下，

步驟(b1)，在所述可蝕刻層上施加一層包含光阻劑的層；

步驟(b2)，令所述包含光阻劑的層經由一個圖案化的屏蔽進行曝光，并進行顯影以在所述可蝕刻層上形成一層包含所述光阻劑的圖案化層，俾以定義出所述非遮蔽區域，且所述非遮蔽區域上未設置有所述光阻劑；

步驟(b3)，在所述非遮蔽區域上形成一層包含銀催化劑的層；以及

步驟(b4)，掀離所述包含所述光阻劑的圖案化層，俾以在所述可蝕刻層的所述非遮蔽區域上留下所述銀催化劑；

以及所述步驟(c)包括子步驟如下，

步驟(c1)，將在所述子步驟(b4)中所得到的所述可蝕刻層浸泡于包含HF以及H₂O₂的蝕刻水溶液中，以令所述可蝕刻層的所述非遮蔽區域進行銀催化化學蝕刻反應，所述銀催化化學蝕刻反應會朝著所述基板向下蝕刻，俾以形成所述分散的納米尺寸的結構物，所述分散的納米尺寸的結構物具有因為并行的側向蝕刻而造成的經減弱的機械強度；以及

步驟(c2)，自所述可蝕刻層移除所述銀催化劑。

3.根據權利要求2所述的生物檢測系統，其特征在于：所述可蝕刻層與所述基板是一體成形地形成。

4.根據權利要求1所述的生物檢測系統，其特征在于：所述分散的納米尺寸的結構物是呈陣列排列。

5.根據權利要求2所述的生物檢測系統，其特征在于：所述分散的納米尺寸的結構物中的每一者具有一個在所述基板與所述頂端之間延伸的外表面，且所述外表面因為所述并行的側向蝕刻而形成有數個孔洞。

6.根據權利要求5所述的生物檢測系統，其特征在于：所述孔洞中的每一者具有范圍落在500pm至50nm的尺寸。

7.根據權利要求1所述的生物檢測系統，其特征在于：所述單晶片與所述下殼體是一體成形地形成。