[發(fā)明專利]一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810161983.5
• 申請(qǐng)日: 2018-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108436253B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 管迎春;張佳茹;盧立斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/352;B23K26/60
• 代理公司: 北京慧泉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11232
• 代理人: 王順榮;唐愛(ài)華

1.一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：該方法具體步驟如下：

步驟一：使用多型號(hào)砂紙依次打磨基底表面，去除氧化層，使基底表面光整，表面粗糙度小于0.1μm；對(duì)打磨好的基底進(jìn)行超聲清洗，去除表面雜質(zhì)；

步驟二：將基底置于超短脈沖激光器加工系統(tǒng)的工作臺(tái)上，設(shè)定激光參數(shù)，啟動(dòng)激光加工系統(tǒng)，利用振鏡掃描使激光在基底上以一定速度重復(fù)掃描，最終在基底表面獲得三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)；

步驟一中使用360、600、800、1000、2000、4000號(hào)砂紙依次打磨基底表面；超聲清洗時(shí)間為20s；

步驟二中設(shè)定激光參數(shù)為：激光功率為0.5-50W；激光波長(zhǎng)為325-1064nm；激光脈寬為10-900fs；激光頻率 為50-900 KHz；掃描速度為100-3000mm/s；掃描次數(shù)為1-200次。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：基底包括：銅、鈦、鋁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：步驟二中超短脈沖激光器是指飛秒激光器或可以短時(shí)間消除材料使之形成復(fù)合納米結(jié)構(gòu)的脈沖激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：步驟二中三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)包括微米級(jí)結(jié)構(gòu)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)中的納米周期性結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)于微米周期性結(jié)構(gòu)之上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)中的微米結(jié)構(gòu)包括波紋狀、鋸齒狀的周期性結(jié)構(gòu)；納米結(jié)構(gòu)包括線性納米結(jié)構(gòu)、柱狀納米結(jié)構(gòu)、網(wǎng)狀納米結(jié)構(gòu)及納米顆粒。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)中的微米級(jí)結(jié)構(gòu)周期范圍為10-500μm；納米級(jí)結(jié)構(gòu)周期范圍為20-900nm；納米顆粒直徑為1-100nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種SERS-熒光雙模式金屬增強(qiáng)基底的制備方法，其特征在于：三維微納米周期復(fù)合結(jié)構(gòu)中的微米級(jí)結(jié)構(gòu)的高度范圍為5-20μm。