[發(fā)明專利]一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810159640.5
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN108372963A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳景韶;葛林五;葛林新;李杰;丁高生
• 申請（專利權(quán)）人: 上海提牛機(jī)電設(shè)備有限公司
• 主分類號: B65B69/00
• 分類號: B65B69/00;B65G47/90
• 代理公司: 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，該脫離機(jī)構(gòu)包括底板(1)、豎向固定支架(2)、豎向移動(dòng)支架(3)、水平移動(dòng)平臺(tái)(4)、硅片承載機(jī)構(gòu)(5)、驅(qū)動(dòng)水平移動(dòng)平臺(tái)(4)產(chǎn)生水平移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)豎向移動(dòng)支架(3)產(chǎn)生豎向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述豎向固定支架(2)垂直設(shè)置在底板(1)的上表面，所述豎向移動(dòng)支架(3)與固定支架滑動(dòng)連接，所述水平移動(dòng)平臺(tái)(4)與豎向移動(dòng)支架(3)滑動(dòng)連接，所述水平移動(dòng)平臺(tái)(4)上設(shè)有供硅片承載機(jī)構(gòu)(5)通過的通過空間，所述硅片承載機(jī)構(gòu)(5)設(shè)在底板(1)的上方，且硅片承載機(jī)構(gòu)(5)與水平移動(dòng)平臺(tái)(4)上的通過空間相對應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述豎向固定支架(2)背面的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)豎向?qū)к?6)，所述豎向移動(dòng)支架(3)與兩個(gè)豎向?qū)к?6)分別通過第一滑塊連接，所述豎向移動(dòng)支架(3)的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)第一水平導(dǎo)軌(7)，所述水平移動(dòng)平臺(tái)(4)與兩個(gè)第一水平導(dǎo)軌(7)分別通過第二滑塊連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)氣缸(8)，所述第一驅(qū)動(dòng)氣缸(8)的一端與豎向移動(dòng)支架(3)固定連接，所述第一驅(qū)動(dòng)氣缸(8)的另一端與水平移動(dòng)平臺(tái)(4)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括滾珠絲桿(10)、驅(qū)動(dòng)塊(11)、固定塊(12)和驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿(10)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(13)，所述驅(qū)動(dòng)塊(11)與豎向移動(dòng)支架(3)固定連接，所述驅(qū)動(dòng)塊(11)上設(shè)有豎向螺紋孔，所述滾珠絲桿(10)穿設(shè)于豎向螺紋孔內(nèi)且與驅(qū)動(dòng)塊(11)螺紋連接，所述固定塊(12)上設(shè)有豎向通孔，所述滾珠絲桿(10)的下端穿過固定塊(12)上的豎向通孔與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(13)連接，所述固定塊(12)上設(shè)有用于阻止?jié)L珠絲桿(10)產(chǎn)生上下移動(dòng)的定位機(jī)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)第一位置傳感器和兩個(gè)第二位置傳感器，所述兩個(gè)第一位置傳感器分別設(shè)置在豎向?qū)к?6)的兩端，所述兩個(gè)第二位置傳感器分別設(shè)在第一水平導(dǎo)軌(7)的兩端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述水平移動(dòng)平臺(tái)(4)上并列設(shè)有兩個(gè)供硅片承載機(jī)構(gòu)(5)通過的通過空間，所述兩個(gè)硅片承載機(jī)構(gòu)(5)并列設(shè)置在底板(1)的上方，且兩個(gè)硅片承載機(jī)構(gòu)(5)分別與兩個(gè)通過空間相對應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種硅片與片盒脫離機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述硅片承載機(jī)構(gòu)(5)包括底座(51)、第一硅片承載架(52)和第二硅片承載架(53)，所述第一硅片承載架(52)和第二硅片承載架(53)對稱設(shè)置在底座(51)的上表面上，所述第一硅片承載架(52)的頂部設(shè)有多道第一硅片卡槽(54)，相鄰的兩個(gè)第一硅片卡槽(54)之間的距離相等，所述第二硅片承載架(53)的頂部設(shè)有多道第二硅片卡槽(55)，相鄰的兩個(gè)第二硅片卡槽(55)之間的距離相等，所述第一硅片卡槽(54)和第二硅片卡槽(55)一一對應(yīng)，所述第一硅片卡槽(54)的槽底和第二硅片卡槽(55)的槽底均處于同一弧面上，所述第一硅片卡槽(54)的槽底和第二硅片卡槽(55)的槽底所處弧面的半徑與該承載機(jī)構(gòu)所承載的硅片的半徑相等，所述第一硅片卡槽(54)和第二硅片卡槽(55)之間的圓心角α小于180°。