[發明專利]探針組件及其探針結構

有效

• 申請號: 201810159408.1
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN110196343B
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 謝開杰;鄧元玱;李建偉
• 申請（專利權）人: 中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

本發明公開一種探針組件及其探針結構。探針結構包括一第一基部、一第二基部、一連接部以及一接觸部。第一基部包括一第一接觸段以及一連接于第一接觸段的第一連接段。第一接觸段具有一第一抵靠部以及一連接于第一抵靠部的第一側端。第二基部包括一第二接觸段、一第二連接段以及一電性連接于第二接觸段與第二連接段之間的被動元件。第二接觸段具有一第二抵靠部以及一連接于第二抵靠部的第二側端。第一基部的第一連接段以及第二基部的第二連接段連接于連接部。接觸部連接于連接部。借此，本發明能通過被動元件的設置，而改善電源完整性。

技術領域

本發明涉及一種探針組件及其探針結構，尤其涉及一種應用于晶圓探針卡的探針組件及其探針結構。

背景技術

首先，現有技術的懸臂式探針卡主要是通過人工的方式將探針逐一焊接在印刷電路板上，同時，通過一粘著物(例如環氧樹脂)將探針固定。例如，TW I447397所公開的“探針卡”專利案，其探針33即是利用包含有環氧樹脂的固持部36而固定在電路板34上。

但是，上述現有技術中，當環氧樹脂硬化后，會使得懸臂式探針卡變得不易維修。換句話說，當其中一根探針損壞時，現有技術的懸臂式探針卡并無法單獨替換該損壞的探針，必須將整組懸臂式探針卡進行更換。

再者，現有技術的懸臂式探針卡的焊線方式，須要通過密集的線材以進行扇出(Fan-out)工藝，且因人工焊線須要較寬廣的空間，所以傳輸路徑較長。因此，會導致信號傳輸品質較差。進一步地，現有技術的懸臂式探針卡的探針線徑較寬，故在布線上除了橫向排列之外，仍必須進行縱向堆疊。但是，當針數多或間距小時，將導致探針安排的困難度增加。

進一步來說，現有的懸臂式探針卡結構，傳輸路徑太長，阻抗無法控制，傳輸品質較不佳。同時，電源信號會因為傳輸路徑過長，且探針截面積過窄，其電感特性將使電源阻抗隨頻率上升，造成電壓下降而使得測試良率不佳。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，針對現有技術的不足提供一種探針組件及其探針結構，能有效地改善懸臂式探針不易維修的特性，同時，能改善傳輸品質并降低維護成本。同時，能降低探針結構的傳輸路徑中電感的影響。

為了解決上述的技術問題，本發明所采用的其中一技術方案是，提供一種探針結構，其包括一第一基部、一第二基部、一連接部以及一接觸部。所述第一基部包括一第一接觸段以及一連接于所述第一接觸段的第一連接段，其中，所述第一接觸段具有一第一抵靠部以及一連接于所述第一抵靠部的第一側端。所述第二基部包括一第二接觸段、一第二連接段以及一電性連接于所述第二接觸段與所述第二連接段之間的被動元件，其中，所述第二接觸段具有一第二抵靠部以及一連接于所述第二抵靠部的第二側端。所述第一基部的所述第一連接段以及所述第二基部的所述第二連接段連接于所述連接部。所述接觸部連接于所述連接部。

更進一步地，所述第一連接段的橫截面垂直于所述第一連接段的延伸方向，所述第二連接段的橫截面垂直于所述第二連接段的延伸方向，所述連接部的橫截面垂直于所述連接部的延伸方向，其中，所述第一連接段的所述橫截面的形狀與所述連接部的所述橫截面的形狀彼此相異，且所述第二連接段的所述橫截面的形狀與所述連接部的所述橫截面的形狀彼此相異。

更進一步地，所述第一連接段的所述橫截面的面積大于所述連接部的所述橫截面的面積，且所述第二連接段的所述橫截面的面積大于所述連接部的所述橫截面的面積。

更進一步地，所述探針結構為一懸臂式探針結構。

更進一步地，所述第一接觸段的延伸方向與所述連接部的延伸方向彼此相異，且所述第二接觸段的延伸方向與所述連接部的延伸方向彼此相異。

更進一步地，所述第一抵靠部及所述第二抵靠部能分別抵接于一第一板體的一頂抵部。

更進一步地，所述第一連接段及所述第二連接段分別為一柱狀結構，所述連接部為一片狀結構，且所述柱狀結構與所述片狀結構的形狀不同。