[發(fā)明專利]一種管尾便于對接的石英爐管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810159041.3
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN108172506B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝毅;周丹;謝泰宏;張冠綸;張忠文
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L21/223
• 分類號: H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 李文淵

本發(fā)明公開了一種管尾便于對接的石英爐管，包括爐管、端蓋以及對接管，所述端蓋固定于爐管的管尾處，所述對接管與端蓋活動連接；所述端蓋遠離爐管一側(cè)設(shè)置有若干同心的環(huán)面，所述環(huán)面上開設(shè)有出孔，所述出孔中設(shè)置有固定板和移動板，所述對接管活動連接于移動板上，且對接管側(cè)壁開設(shè)有插槽，所述插槽中活動設(shè)置有定位塊，所述定位塊通過復(fù)位彈簧連接于插槽內(nèi)側(cè)壁上。本發(fā)明在端蓋處設(shè)置的半徑依次增大的同心環(huán)面上開設(shè)有多個出孔，可以更好的與對接設(shè)備進行對接操作，而且通過對接管的設(shè)置，在需要開設(shè)多個出孔的情況下，在出孔內(nèi)插入對接管即可開通出孔，實現(xiàn)自主控制出孔數(shù)量的目的，非常值得推廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏組件爐管制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種管尾便于對接的石英爐管。

背景技術(shù)

石英爐管是集成電路生成線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜志的類型、濃度和分布，以建立不同的電特性區(qū)域。

現(xiàn)有技術(shù)中，申請?zhí)枮椤?01511024733.X”的一種石英爐管，包括一個爐管本體，在爐尾上開設(shè)有至少一個進氣口和至少一個出氣口，該石英爐管可以解決工藝氣體從爐尾直接向爐口流動導(dǎo)致氣體分布不均勻的問題，使得工藝氣體可從晶圓片的四周均勻流入，但是上述該石英爐管仍然存在一個缺陷：對于爐尾處設(shè)置的多個出氣口，無法很好的對其進行控制，在石英爐管尾部出氣口進行排氣時，不能自主選擇需要排氣的出氣口數(shù)量，而且無法合理的根據(jù)尾部對接設(shè)備的位置和距離進行對接，非常不方便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種管尾便于對接的石英爐管，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種管尾便于對接的石英爐管，包括爐管、端蓋以及對接管，所述端蓋固定于爐管的管尾處，所述對接管與端蓋活動連接；

所述端蓋遠離爐管一側(cè)設(shè)置有若干同心的環(huán)面，所述環(huán)面上開設(shè)有出孔，所述出孔中設(shè)置有固定板和移動板，所述固定板與移動板活動連接；

所述端蓋遠離出孔一側(cè)開設(shè)有進孔，所述進孔中固定有橫桿，所述端蓋在出孔和進孔之間開設(shè)有凹槽，所述凹槽中設(shè)置有連桿和擠壓彈簧，所述連桿兩端分別固定于橫桿和固定板上，所述擠壓彈簧兩端分別固定于凹槽內(nèi)側(cè)壁和移動板上；

所述對接管活動連接于移動板上，且對接管側(cè)壁開設(shè)有插槽，所述插槽中活動設(shè)置有定位塊，所述定位塊通過復(fù)位彈簧連接于插槽內(nèi)側(cè)壁上。

優(yōu)選的，每個所述環(huán)面中只開設(shè)有一個出孔。

優(yōu)選的，所述移動板與出孔連接處設(shè)置有密封墊。

優(yōu)選的，所述插槽側(cè)壁開設(shè)有移動槽，所述移動槽內(nèi)活動設(shè)置有限位塊，所述限位塊固定于定位塊上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明在爐管的管尾處固定一個端蓋，端蓋上采用同心圓的方式依次設(shè)置有多個圓環(huán)面，環(huán)面的半徑依次增大，每個環(huán)面上開設(shè)一個出孔，用來作為出氣口，可以更加方便與對接工作設(shè)備進行對接。

本發(fā)明的每個出孔中固定有固定板，固定板外圍設(shè)置有移動板，固定板和移動板相互配合，將出孔堵住，在不需要出氣時，移動板與固定板相互接觸，實現(xiàn)封閉出孔的作用，在需要出氣時，將對接管對應(yīng)插接在移動板上，并且向凹槽內(nèi)進行擠壓，在對接管插設(shè)進入凹槽內(nèi)后，定位塊與凹槽內(nèi)側(cè)壁相互固定住，使得對接管不會被擠壓彈簧的回復(fù)力彈出，此時爐管內(nèi)的氣體從進孔進入凹槽，并且從移動板中心處進入到對接管內(nèi)，實現(xiàn)開通出孔的作用。

本發(fā)明在端蓋處設(shè)置的半徑依次增大的同心環(huán)面上開設(shè)有多個出孔，可以更好的與對接設(shè)備進行對接操作，而且通過對接管的設(shè)置，在需要開設(shè)多個出孔的情況下，在出孔內(nèi)插入對接管即可開通出孔，實現(xiàn)自主控制出孔數(shù)量的目的，非常值得推廣。

附圖說明