[發明專利]一種物體表面平整度快速測量方法

在審

• 申請號: 201810154983.2
• 申請日: 2018-02-23
• 公開（公告）號: CN108362234A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 仲東明
• 申請（專利權）人: 仲東明
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209
• 代理人: 曹徐婷

本發明一種物體表面平整度快速測量方法屬于工業、生產、機械、光學、檢測、測試等技術領域。該方法首先調整被測物件，然后設定圖像傳感器的成像時間、非成像時間和閾值，再調整圖像傳感器的成像時間與所述限位凸起位于運動塊中的劣弧通槽中且運動塊靜止的時間重合，接著轉動電機，使電機完成N周轉動，圖像傳感器得到N個圖像數據，再從圖像傳感器得到N個圖像數據中找到最大值和最小值，最后對被測物件上表面平整度進行評價；本發明不僅能夠對物體表面平整度進行定性檢測，而且操作過程簡單，操作方法容易，而且能夠對噪聲進行濾除或監測，檢測結果準確。

技術領域

本發明一種物體表面平整度快速測量方法屬于工業、生產、機械、光學、檢測、測試等技術領域。

背景技術

平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。

平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：

1、平晶干涉法：用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。

2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。

3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由“連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法：光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

5、激光平面度測量儀：激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差。

6、利用數據采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。

以上方法技術成熟，能夠實現精密測量，但是理論基礎過于專業，需要專業人士進行操作和測量，而且，對于測量過程中的噪聲，缺少有效的抑制手段，也在一定程度上影響了測量精度。

發明內容

針對上述問題，本發明公開了一種物體表面平整度快速測量方法，不僅能夠對物體表面平整度進行定性檢測，而且操作過程簡單，操作方法容易，而且能夠對噪聲進行濾除或監測，檢測結果準確。

本發明的目的是這樣實現的：

一種物體表面平整度快速測量裝置，由照明成像模塊和運動機構組成；

所述的照明成像模塊由照明系統和成像系統組成；在照明系統中，沿光線傳播方向依次設置激光器、分光鏡、物鏡和被測物件；所述物鏡由載物臺承載，沿光軸方向運動；所述被測物件由二維平移臺承載，在垂直光軸的平面內二維運動；激光器發出的光束，依次經過分光鏡和物鏡透射，準焦或離焦到被測物件表面；在成像系統中，沿光線傳播方向依次設置被測物件、物鏡、分光鏡、衰減片、針孔和圖像傳感器；被測物件反射的光束，以及經過物鏡透射，分光鏡反射，衰減片透射，準焦或離焦到針孔上；