[發明專利]一種物體表面平整度快速測量裝置

在審

• 申請號: 201810154974.3
• 申請日: 2018-02-23
• 公開（公告）號: CN108444412A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 仲東明
• 申請（專利權）人: 仲東明
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;H02K7/06
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209
• 代理人: 曹徐婷

1.一種物體表面平整度快速測量裝置，其在于，由照明成像模塊和運動機構組成；

所述的照明成像模塊由照明系統和成像系統組成；在照明系統中，沿光線傳播方向依次設置激光器(1-1)、分光鏡(1-2)、物鏡(1-4)和被測物件(1-6)；所述物鏡(1-4)由載物臺(1-3)承載，沿光軸方向運動；所述被測物件(1-6)由二維平移臺(1-5)承載，在垂直光軸的平面內二維運動；激光器(1-1)發出的光束，依次經過分光鏡(1-2)和物鏡(1-4)透射，準焦或離焦到被測物件(1-6)表面；在成像系統中，沿光線傳播方向依次設置被測物件(1-6)、物鏡(1-4)、分光鏡(1-2)、衰減片(1-7)、針孔(1-8)和圖像傳感器(1-9)；被測物件(1-6)反射的光束，以及經過物鏡(1-4)透射，分光鏡(1-2)反射，衰減片(1-7)透射，準焦或離焦到針孔(1-8)上；

所述的運動機構由上固定端(2-1)，上桿(2-2)，運動塊(2-3)，下桿(2-4)，下固定端(2-5)，電機(2-6)，連軸器(2-7)，T型轉盤(2-8)和限位凸起(2-9)組成；所述上固定端(2-1)為直線軸承，與上桿(2-2)組合成直線導軌結構；所述下固定端(2-5)為直線軸承，與下桿(2-4)組合成直線導軌結構；所述運動塊(2-3)的上方連接上桿(2-2)，運動塊(2-3)的下方連接下桿(2-4)，運動塊(2-3)為具有通槽的平板結構，所述通槽包括一個劣弧通槽和對稱設置在劣弧通槽兩端的直通槽，劣弧通槽和直通槽的寬度相等，直通槽之間的距離不小于劣弧通槽所對應圓周的直徑；所述電機(2-6)、上固定端(2-1)和下固定端(2-5)的相對位置固定，所述T形轉盤(2-8)包括圓柱形伸出結構和盤狀結構，電機(2-6)的轉軸通過聯軸器(2-7)連接T形轉盤(2-8)的圓柱形伸出結構，在電機(2-6)轉動作用下，T形轉盤(2-8)的盤狀結構在垂直電機(2-6)轉軸的平面內旋轉，在盤狀結構的端部，設置有截面為圓形的限位凸起(2-9)，所述限位凸起(2-9)插入到運動塊(2-3)的通槽中，在電機(2-6)轉動作用下，運動塊(2-3)進行往復式間歇運動；

運動塊(2-3)在停滯狀態下，激光器(1-1)發出的光束準焦到被測物件(1-6)表面，被測物件(1-6)反射的光束準焦到針孔(1-8)上。

2.根據權利要求1所述的物體表面平整度快速測量裝置，其在于，所述的圖像傳感器(1-9)的曝光時間與所述的載物臺(1-3)的停滯時間相同。