[發明專利]壓力傳感器、壓力傳感器模塊、電子設備及移動體

在審

• 申請號: 201810154910.3
• 申請日: 2018-02-23
• 公開（公告）號: CN108622844A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 藤井正寬;松沢勇介
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G01L9/00
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種壓力傳感器，其特征在于，具有：

基板，其具備通過受壓而發生撓曲變形的隔膜；

壓電電阻元件，其被設置在所述隔膜上；

保護膜，其被設置在所述隔膜的一面側，

所述保護膜具有薄壁部、和與所述薄壁部相比而較厚的厚壁部，

在俯視觀察所述基板時，所述薄壁部與所述壓電電阻元件重疊，且所述厚壁部與所述隔膜的至少一部分重疊。

2.如權利要求1所述的壓力傳感器，其中，

在俯視觀察所述基板時，所述厚壁部與所述隔膜的外緣的至少一部分重疊。

3.如權利要求2所述的壓力傳感器，其中，

在俯視觀察所述基板時，所述隔膜的外緣具有至少一個角部，并且所述厚壁部與所述角部重疊。

4.如權利要求3所述的壓力傳感器，其中，

在俯視觀察所述基板時，所述隔膜的外緣具有至少兩個所述角部、和位于兩個所述角部之間的邊，并且所述厚壁部與各個所述角部重疊，且所述薄壁部與所述邊重疊。

5.如權利要求1至4中任一項所述的壓力傳感器，其中，

所述厚壁部與所述隔膜的中央部重疊。

6.如權利要求1所述的壓力傳感器，其中，

所述壓電電阻元件被配置在所述隔膜的外緣部處。

7.如權利要求6所述的壓力傳感器，其中，

所述壓電電阻元件還被配置在所述隔膜的中央部處。

8.如權利要求1至4中任一項所述的壓力傳感器，其中，

所述薄壁部具有包含氧化硅的第一絕緣膜、和包含氮化硅的第二絕緣膜。

9.如權利要求1至4中任一項所述的壓力傳感器，其中，

具有壓力基準室，所述壓力基準室以在俯視觀察所述基板時與隔膜重疊的方式而被配置。

10.一種壓力傳感器模塊，其特征在于，具有：

權利要求1至9中任一項所述的壓力傳感器；

封裝件，其對所述壓力傳感器進行收納。

11.一種電子設備，其特征在于，具有：

權利要求1至9中任一項所述的壓力傳感器。

12.一種移動體，其特征在于，具有：

權利要求1至9中任一項所述的壓力傳感器。